[发明专利]一种工件局部表面改性的制备装置

权利要求书

1.一种工件局部表面改性的制备装置，其特征在于，包括：

用于向工件(6)提供纳米颗粒溶液的颗粒溶液供给装置；

电泳系统，所述电泳系统用于提供电泳作用以辅助所述纳米颗粒溶液中的颗粒沉积到所述工件(6)表面；

用于覆盖工件表面的局部以实现局部绝缘处理的活动掩膜，所述活动掩膜为绝缘件；

温控装置，所述温控装置用于改变所述工件(6)的表面温度，以控制工件表面不同颗粒熔融自组装亲疏水改性；

所述电泳系统包括：

用于连接电泳辅助阴极的电泳辅助阴极夹具，所述电泳辅助阴极夹具(5)上设有电泳辅助阴极；

电泳辅助系统(11)，所述电泳辅助系统(11)的输出端分别连接所述电泳辅助阴极和所述工件(6)；

所述活动掩膜连接控制装置，所述控制装置用于控制所述活动掩膜覆盖位置并压紧于工件(6)表面的局部，形成工件局部绝缘；

颗粒溶液混合循环系统(2)的吸引管与机床主轴(4)上的吸引管夹具连接，所述电泳辅助阴极夹具连接于机床主轴，所述机床主轴用于控制所述电泳辅助阴极与所述工件的距离，所述吸引管用于将所述颗粒溶液混合循环系统(2)中的所述纳米颗粒溶液吸引至所述工件表面。

2.根据权利要求1所述的工件局部表面改性的制备装置，其特征在于，所述纳米颗粒溶液包括若干种金属颗粒、和/或若干种非金属颗粒，所述颗粒溶液供给装置为用于将所述纳米颗粒溶液混合的颗粒溶液混合循环系统(2)。

3.根据权利要求2所述的工件局部表面改性的制备装置，其特征在于，所述颗粒溶液混合循环系统(2)包括振动装置、磁力搅拌装置、悬浮液吸引装置、溶液循环装置中的一个或多个。

4.根据权利要求3所述的工件局部表面改性的制备装置，其特征在于，还包括能够实现准确三维运动的微三维运动平台(10)，所述微三维运动平台(10)上设有加工槽(7)，用于固定所述工件(6)的工件夹具(8)设置于所述加工槽(7)内。

5.根据权利要求4所述的工件局部表面改性的制备装置，其特征在于，所述微三维运动平台(10)与所述机床主轴(4)均与集成控制柜(13)连接。

6.根据权利要求5所述的工件局部表面改性的制备装置，其特征在于，所述温控装置包括真空控制模块或辅助气体控制模块。

7.根据权利要求6所述的工件局部表面改性的制备装置，其特征在于，还包括用于对工件表面沉积情况和熔融状态下的颗粒分布情况进行检测的CCD视频检测系统(3)。