[发明专利]激光清洗能量的确定方法及装置、激光清洗方法及系统

权利要求书

1.一种激光清洗能量的确定方法，其特征在于，包括：

以初始清洗能量和预设清洗时间对待清洗材料进行打点清洗，选择清洗过程中待清洗层元素的特征谱线，其中，所述特征谱线所包括的元素种类包括：碳元素、氢元素及氧元素；

根据获取的待清洗层元素的特征谱线的强度和失真度信息，选取所述待清洗层元素的特征谱线波长；

根据所述待清洗层元素的特征波长，并在所述初始清洗能量的基础上增加预定能量获得当前清洗能量后进行打点清洗，其中，当前清洗位置不同于初始清洗位置；在当前清洗过程中，分别获取基体元素与各个待清洗元素的特征谱线的强度比值；

判断基体元素与碳元素的特征谱线强度对应的第一比值、基体元素与氢元素的特征谱线强度对应的第二比值，以及基体元素与氧元素的特征谱线强度对应的第三比值中至少两个比值是否大于或等于预设值；

若判断结果为是，则基于当前清洗能量确定目标激光清洗能量。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

若判断结果为否，则重复所述：根据所述待清洗层元素的特征波长，并在所述初始清洗能量的基础上增加预定能量获得当前清洗能量后进行打点清洗，其中，当前清洗位置不同于初始清洗位置；在当前清洗过程中，分别获取基体元素与各个待清洗元素的特征谱线的强度比值；判断基体元素与碳元素的特征谱线强度对应的第一比值、基体元素与氢元素的特征谱线强度对应的第二比值，以及基体元素与氧元素的特征谱线强度对应的第三比值中至少两个比值是否大于或等于预设值的步骤，直至所述第一比值、第二比值和第三比值中至少两个比值大于或等于预设值为止。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述碳元素的特征谱线的波长为247.9纳米，所述氢元素的特征谱线的波长为656.3纳米，所述氧元素的特征谱线的波长为844.6纳米；所述初始清洗能量为10瓦，所述预定能量为1瓦；所述预设清洗时间为0.5秒。

4.一种激光清洗方法，其特征在于，包括：

以初始清洗能量和预设清洗时间对待清洗材料进行打点清洗，选择清洗过程中待清洗层元素的特征谱线，其中，所述特征谱线所包括的元素种类包括：碳元素、氢元素及氧元素；

根据获取的待清洗层元素的特征谱线的强度和失真度信息，选取所述待清洗层元素的特征谱线波长；

根据所述待清洗层元素的特征波长，在所述初始清洗能量的基础上增加预定能量获得当前清洗能量进行打点清洗，其中，当前清洗位置不同于初始清洗位置；

在当前清洗过程中，分别获取基体元素与各个待清洗元素的特征谱线的强度比值；

判断基体元素与碳元素的特征谱线强度对应的第一比值、基体元素与氢元素的特征谱线强度对应的第二比值，以及基体元素与氧元素的特征谱线强度对应的第三比值中至少两个比值是否大于或等于预设值；

若判断结果为是，则基于当前清洗能量确定目标激光清洗能量；

以所述目标激光清洗能量对待清洗材料进行清洗，以预设时间间隔获取基体元素与各个待清洗层元素的特征谱线的强度比值；

判断是否存在至少一个基体元素与待清洗层元素的特征谱线的强度比值大于或等于预设值；若不存在，则以当前的清洗能量继续进行清洗。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

当存在至少一个基体元素与待清洗层元素的特征谱线的强度比值大于或等于预设值，则扩大聚焦镜至待清洗样品的距离，继续清洗。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在清洗过程中，重复上述以预设时间间隔获取基体元素与各个待清洗层元素的特征谱线的强度比值；判断是否存在至少一个基体元素与待清洗层元素的特征谱线的强度比值大于或等于预设值的步骤，维持所述基体元素与待清洗层元素的特征谱线的强度比值小于预设值。