[发明专利]一种具有透明上电极的阻变单元及其导电细丝定位方法

权利要求书

1.一种具有透明上电极的阻变单元的导电细丝定位方法，所述具有透明上电极的阻变单元，从下到上依次由下电极，绝缘介质层和上电极三部分构成，所述绝缘介质层内具有连接下电极和上电极的导电细丝，所述上电极材料为透明氧化铟锡；其特征在于，包括以下步骤：

1)对具有透明上电极的阻变单元绝缘介质层所采用的材料进行光谱测试分析，获得该材料氧空位发光强度峰值所对应的发光波长；

2)采用紫外激光作为激发源，利用共聚焦显微荧光系统中的显微物镜对紫外激光进行聚焦，通过聚焦后的紫外激光对具有透明上电极的阻变单元的上电极进行光致发光扫描，获得上电极对应氧空位发光强度的二维图像；

3)根据步骤2)获取的图像，读取上电极内每一点的光谱，记录在步骤1)确定的波长处每一点的发光强度，发光最强的位置即为导电细丝连接上电极的一端所在的位置，导电细丝定位完成。

2.如权利要求1所述的方法，其特征还包括，导电细丝定位完成后，对该阻变单元的导电细丝进行N次的通断操作，20≤N≤50，操作完成后，重复步骤2)-步骤3)，更新该阻变单元中导电细丝连接上电极的一端所在位置的发光强度并进行判定：若发光强度的增加值小于首次进行导电细丝定位时导电细丝连接上电极的一端所在位置发光强度的50％，则代表导电细丝通断正常，阻变单元处于工作状态，继续进行下一轮的N次通断操作；若发光强度的增加值大于等于首次进行导电细丝定位时导电细丝连接上电极的一端所在位置发光强度的50％，则代表导电细丝无法断开，阻变单元失效。