[发明专利]一种等离子氮化炉系统

权利要求书

1.一种等离子氮化炉系统，其特征在于：包括计算机、气体控制站、等离子氮化炉体、电动机、废气燃烧管、进气管、压力闭环控制系统、温度闭环控制系统、真空泵模块、整流模块、斩波模块、保护模块、以及控制模块、等离子加热脉冲电源、所述等离子氮化炉体内设有阴极盘；所述真空泵通过抽气管道通入等离子氮化炉体内，所述进气管设置于软氮化炉的顶部；所述抽气管道上有真空碟阀。

2.根据权利要求1所述的一种等离子氮化炉系统，其特征在于：所述计算机通过通信数据总线分别连接数字调节器，所述计算机与位于等离子加热脉冲电源内的编程控制器连接。

3.根据权利要求1所述的一种等离子氮化炉系统，其特征在于：所述等离子氮化炉体为矩形结构，最大装载量为1500kg。

4.根据权利要求1所述的一种等离子氮化炉系统，其特征在于：所述等离子氮化炉体底部还设置有电源过线孔和热电偶过线孔，所述过线孔与基座的装配是密封和绝缘的。

5.根据权利要求1所述的一种等离子氮化炉系统，其特征在于：所述废气燃烧管设置于氮化炉的底部，所述废气燃烧管上装有安全阀。