[发明专利]等离子体发生装置

权利要求书

1.一种等离子体发生装置，其特征在于，所述等离子体发生装置包括本体、第一管体、第二管体和第三管体，其中：

所述本体分别连接所述第一管体、所述第二管体和所述第三管体的顶端；所述第一管体位于所述第二管体中，所述第二管体位于所述第三管体中；

所述第一管体的长度小于所述第二管体，所述第二管体的长度小于所述第三管体；

所述第二管体包括第一端部，所述第一端部靠近所述第二管体的末端；所述第二管体具有一个或多个第一类孔，所述第一类孔位于所述第一端部的侧壁上。

2.如权利要求1所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述第三管体包括内侧壁和外侧壁，其中：

所述内侧壁位于所述外侧壁中，所述内侧壁和所述外侧壁形成中空结构；

所述内侧壁包括第二端部，所述第二端部靠近所述第三管体的末端，所述内侧壁具有一个或多个第二类孔，所述第二类孔位于所述第二端部上；

所述外侧壁具有一个或多个第三类孔。

3.如权利要求2所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述第二端部向所述第三管体的内部收缩。

4.如权利要求2所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述第一管体喷射混合气体，所述混合气体包括承载气体和样品。

5.如权利要求4所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述承载气体为氦气、氖气、氩气、氪气或氙气。

6.如权利要求4所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述第二管体喷射辅助气体。

7.如权利要求6所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述辅助气体为氦气、氖气、氩气、氪气或氙气。

8.如权利要求6所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述第三管体喷射冷却气体。

9.如权利要求8所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述冷却气体为氦气、氖气、氩气、氪气或氙气。

10.如权利要求4所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述等离子体发生装置还包括雾化装置，所述雾化装置将所述样品进行雾化后输送到所述第一管体中。

11.如权利要求10所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述等离子体发生装置还包括进样装置，所述进样装置包括样品架、进样管和机械臂，其中：

所述样品架承载所述样品，所述进样管的顶端连接所述雾化装置，所述机械臂带动所述进样管移动以使所述进样管的末端接触所述样品架的不同区域。

12.如权利要求11所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述样品架的形状为圆盘状，所述样品架的中心区域设有一清洗槽，所述样品架上分布多个开口，每个所述开口中容置一个容器，所述容器中承载有所述样品。

13.如权利要求12所述的等离子体发生装置，其特征在于，所述机械臂带动所述进样管移动到第一位置后下降，所述进样管的末端浸入某个所述容器中；

所述机械臂带动所述进样管上升，移动到第二位置后下降，所述进样管的末端浸入到所述清洗槽中；

所述样品架旋转一定角度。