[发明专利]具有两端支臂结构的超高速重复检测装置

说明书

本发明涉及龙门式超高速重复检测装置，在按照X轴方向移动的X轴线性平台，按照Y轴方向移动的Y轴线性平台，及按照小于X轴线性平台的移动区间的区间移动的小X轴线性平台上，分别设置具有线性导轨或配置有驱动部的架或杆，并且，在所述小X轴线性平台的小杆的驱动部上安装测量探头，从而，实现对待测物的测量的检测装置。

技术领域

本发明涉及具有两端支臂结构的超高速重复检测装置，更详细地涉及通过使用线性小X轴(Linear Small X-Axis)，从而，弥补单支臂结构的问题、改善设备的耐用性，构成准确且高速的龙门模组的重复检测装置。

背景技术

现有的重复(Review)检测装置由线性龙门模组(Linear Grantry System)构成而实现驱动。

并且，现有的小X轴(Small X-Axis)重复检测装置构成为单支臂形式的线性龙门模组(Linear Grantry System)并实现驱动，由此，存在因光学系统的下垂而导致的抖动问题，以及因振动而产生的问题，在测定范围的扩展方面存在局限性，并且，增大线性电机的容量，存在提高制作费用，延长测量时间的问题。

在先技术文献

专利文献

(专利文献1)韩国注册专利公报，注册号第10-1540179号。

发明内容

发明要解决的技术问题

为解决上述问题，本发明的目的在于提供一种模组，使用最优路径算法以及两端支臂结构的小X轴(Small X-Axis)，从而，防止支臂的下垂、解决振动引起的抖动，并且，无需增大线性电机的容量也能够缩短移动时间，扩大一定测定时间内所能测量的范围。

解决问题的技术方案

为实现上述目的，本发明对于一种龙门式超高速重复检测装置，该检测装置，包括：X轴线性平台，按照X轴方向移动；Y轴线性平台，按照Y轴方向移动；及小X轴线性平台，按照小于X轴线性平台的移动区间的区间移动，其中，所述X轴线性平台，包括：X轴架，以相互分隔的方式平行地配置；及X轴线性导轨，配置于所述X轴架的上面，所述Y轴线性平台，包括：Y轴主杆；及Y轴驱动部，配置于所述主杆的侧面。

此时，所述Y轴主杆通过所述X轴线性导轨而按照X轴方向移动，所述小X轴线性平台，包括：小杆；及小X轴驱动部，配置于所述小杆的侧面，并且，所述小杆的一侧安装于所述Y轴驱动部，由此，所述小杆通过所述Y轴驱动部而按照Y轴方向移动。

而且，测量探头安装于所述小X轴驱动部上而实现驱动，由此，将所述测量探头的沿着X轴的移动，分解为在所述X轴线性平台的移动与在所述小X轴线性平台的移动。

并且，还包括支撑架，以与所述Y轴主杆平行的方式配置，供支撑所述小杆的另一侧，由此，从两侧对所述小杆进行支撑。

此时，配置于所述小杆的一侧的Y轴驱动部具有线性导轨与线性电机，所述支撑架设置有供支撑所述小杆的另一侧的线性导轨，由此，通过所述Y轴驱动部的线性导轨与所述支撑架的线性导轨的引导，而对所述小杆进行移送。

并且，还包括移送驱动部，供同时对所述Y轴主杆与所述支撑架进行移送。

所述移送驱动部，包括：主杆柱，配置于所述Y轴主杆的两端；支撑架柱，配置于所述支撑架的两端；及底板，搭载有所述主杆柱及所述支撑架柱。

并且，所述移送驱动部的配置于所述底板上面的主杆柱与所述支撑架柱相互平行，所述Y轴主杆与所述支撑架相互平行，通过所述Y轴主杆的线性导轨与所述支撑架的线性导轨的引导而实现移送的小杆与所述底板相互平行，从而，所述主杆柱与所述支撑架柱在相互平行的同时，与所述小杆及所述底板形成直角，由此，所述主杆柱、所述支撑架柱、所述小杆，及所述底板构成为四边形。