[发明专利]一种用光刻机制作菲林的方法在审

专利信息
申请号: 201710270881.2 申请日: 2017-04-24
公开(公告)号: CN106950802A 公开(公告)日: 2017-07-14
发明(设计)人: 楼方禄 申请(专利权)人: 南京市罗奇泰克电子有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 代理人: 梁耀文
地址: 211212 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用光 机制 作菲林 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及菲林制造领域,特别涉及一种用光刻机制作菲林的方法。

背景技术

在PCB行业里图形转移需用到菲林,gerber图形转移到菲林上,需用到光绘机,随着LED灯的兴起,要求菲林的尺寸越来越大,光绘机制程范围有限,大行程的非常少,而且更换光绘机成本太大,找替代菲林的想法就萌生了,市面上有直接曝光线路板的光刻机,可读取gerber文件直接转换到线路板上,从而省去了菲林,但效率太慢,一次只能曝光一块线路板,既然能直接转换到线路板上,也就可以转换到网版上,经过与光刻机厂家沟通,为我司定制了可以制作网版的平台,根据光刻机原理,有了光刻机制作菲林取代光绘机的想法,我们找到一种明室拷贝片,可以用吸气平台吸附平整后经过光刻可以得到我们需要的菲林,精度比光绘机还要高,速度提升了近五倍,而且可以根据我们需要图形大小裁剪菲林即可制作,不像光绘机固定菲林大小,光刻菲林选择的是明室菲林,操作简单方便!用此方法可以取代光绘机制作菲林。

发明内容

发明目的:为了克服现有技术中存在的不足,本发明提供一种能可在明室操作,同时精度更高,且制作过程中无需固定大小的用光刻机制作菲林的方法。

技术方案:为解决上述技术问题,本发明提供了一种用光刻机制作菲林的方法,具体步骤在于:

第一步:将吸气平台安装到光刻机台面上;

第二步:对菲林进行裁剪,

第三步:将裁剪好的菲林平铺到吸气平台上,直至完全吸合;

第四步:对光刻机内部参数进行调整,设置光刻机参数,并开始绘制;

第五步:菲林经冲片机显影定影,制作出有图像的菲林。

进一步的,所述第二步中对菲林进行剪裁,根据所需成像大小进行具体尺寸的剪裁。

本发明在制作菲林可在明室操作;精度大大提高,相同图像绘制速度提升5倍;菲林大小可在1000*1600范围任意大小都可绘制,无需固定菲林大小。

具体实施方式

一种用光刻机制作菲林的方法,具体步骤在于:

第一步:将吸气平台安装到光刻机台面上;

第二步:对菲林进行裁剪,

第三步:将裁剪好的菲林平铺到吸气平台上,直至完全吸合;

第四步:对光刻机内部参数进行调整,设置光刻机参数,并开始绘制;

第五步:菲林经冲片机显影定影,制作出有图像的菲林。

以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出:对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

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