[发明专利]掩模和掩模组件在审
| 申请号： | 201710265404.7 | 申请日： | 2017-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN107385390A | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 安范模;朴胜浩;边圣铉 | 申请（专利权）人： | 普因特工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人： | 张瑞,王漪 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 模组 | ||
1.一种用于在基板上形成图案的掩模，包括：
通过阳极氧化金属形成的阳极氧化膜；
配置为垂直穿过阳极氧化膜并且以与图案对应的关系形成的至少一个透射孔；
形成在阳极氧化膜中的具有小于透射孔的直径的多个孔；和
提供在每个孔中的磁性材料。
2.根据权利要求1所述的掩模，其中阳极氧化膜包括多孔层和阻挡层，并且至少部分磁性材料提供在每个孔的底部中。
3.根据权利要求1或2所述的掩模，其中透射孔具有在垂直方向上均匀的直径。
4.根据权利要求1或2所述的掩模，其中磁性材料由镍制成。
5.根据权利要求1或2所述的掩模，其中该图案通过在覆盖有掩模的基板上沉积有机发光材料形成。
6.一种用于在基板上形成图案的掩模组件，包括：
掩模；和
配置为使掩模与基板紧密接触的磁板，
其中，该掩模包括通过阳极氧化金属形成的阳极氧化膜，配置为垂直穿过阳极氧化膜并且以与图案对应的关系形成的至少一个透射孔，形成在阳极氧化膜中的具有小于透射孔的直径的多个孔，和提供在每个孔中的磁性材料，
其中，磁板和磁性材料具有磁性，当将基板插在掩模和磁板之间时，通过磁性材料和磁板之间产生的磁力将基板压在掩模上。
7.根据权利要求6所述的掩模组件，其中阳极氧化膜包括多孔层和阻挡层，并且至少部分磁性材料提供在每个孔的底部中。
8.根据权利要求6或7所述的掩模组件，其中阳极氧化膜包括配置为封闭每个孔的一端的阻挡层，并且至少部分磁性材料提供在每个孔的底部中。
9.根据权利要求6或7所述的掩模组件，其中透射孔具有在垂直方向上均匀的直径。
10.根据权利要求6或7所述的掩模组件，其中磁性材料由镍制成。
11.根据权利要求6或7所述的掩模组件，其中该图案通过在覆盖有掩模的基板上沉积有机发光材料形成。
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