[发明专利]一种高精度干涉仪气体静压减振基座

权利要求书

1.一种高精度干涉仪气体静压减振基座，包括气浮结构，其特征在于：还包括左立柱（11）和右立柱（13），所述的左立柱（11）和右立柱（13）设置于气浮结构的底部，所述的气浮结构包括减振基座台面（1）、左连接板（2）、右连接板（5）、支撑基座（3）、左侧底座（4）、右侧底座（6）、前侧挡板（10）和后侧挡板（12），所述的减振基座台面（1）、左侧底座（4）和右侧底座（6）的外侧分别设置有若干进气孔（15），所述的减振基座台面（1）底部两侧分别设置有左连接板（2）和右连接板（5），左连接板（2）和右连接板（5）的底部设置有左侧底座（4）和右侧底座（6），左侧底座（4）和右侧底座（6）的宽度大于左连接板（2）和右连接板（5）的宽度，所述的支撑基座（3）设置于的减振基座台面（1）、左连接板（2）、右连接板（5）、左侧底座（4）和右侧底座（6）围成的腔体内，所述的减振基座台面（1）底部设置有侧多孔制材料块（7）、中间多孔制材料块（8）和中心多孔制材料（9），中间多孔制材料块（8）有4块组成环状，中心多孔制材料（9）设置于4块中间多孔制材料块（8）内，侧多孔制材料块（7）设置有4块，围绕环状的中间多孔制材料块（8）的圆周设置；所述的左侧底座（4）、右侧底座（6）与支撑基座（3）接触的上表面处设置有多孔制材料块（14），所述的左侧底座（4）、右侧底座（6）内部分布着与多孔制材料块（14）内部相连通的气孔通道，减振基座台面（1）内部分布着与侧多孔制材料块（7）、中间多孔制材料块（8）和中心多孔制材料（9）内部相互连通的气孔通道，左右连接板与支撑基座（3）之间填充有软性材料，前侧挡板（10）和后侧挡板（12）分别设置于减振基座台面（1）、左连接板（2）、右连接板（5）、左侧底座（4）、右侧底座（6）的两侧通过螺钉连接。

2.根据权利要求1所述的一种高精度干涉仪气体静压减振基座，其特征在于：所述的侧多孔制材料块（7）、中间多孔制材料块（8）和中心多孔制材料（9）凸出减振基座台面（1）底部1-2mm。

3.根据权利要求1或2所述的一种高精度干涉仪气体静压减振基座，其特征在于：所述的左侧底座（4）和右侧底座（6）上多孔制材料块（14）高出于左侧底座（4）和右侧底座（6）1-2mm。

4.根据权利要求3所述的一种高精度干涉仪气体静压减振基座，其特征在于：所述的左连接板（2）通过螺钉与减振基座台面（1）和左侧底座（4）连接，右连接板（5）通过螺钉与减振基座台面（1）和右侧底座（6）连接。

5.根据权利要求4所述的一种高精度干涉仪气体静压减振基座，其特征在于：所述的左立柱（11）和右立柱（13）采用天然花岗岩材料制成。

6.根据权利要求5所述的一种高精度干涉仪气体静压减振基座，其特征在于：所述的软性材料为树脂。