[发明专利]化学气相沉积反应器中辐射测量偏离误差的缩减

权利要求书

1.一种高温计系统，用以推断空间温度分布，该高温计系统包含：

复数个辐射测温计，用以观察对应的复数个相邻的焦外目标物，该复数个辐射测温计中各包含第一远心光学装置，该第一远心光学装置包含

由一个或多个光学元件构成的物组件用以经由视口窗传输辐射，该视口窗设置于凹槽内以限制入射于该视口窗上之杂散辐射量，该物组件限定出相对于该物组件内参考点的焦距；

第一孔径光闸，用以接收由该物组件传输的辐射，该物组件及该第一孔径光闸限定出通过该参考点的第一光学轴，该第一孔径光闸位于与该参考点相隔一段距离，该距离等于该物组件的该焦距，以将来自于该对应的复数个相邻焦外目标物中的各自目标物的该辐射中的第一被探测部分聚焦于该第一孔径光闸上；及

第一电磁辐射探测器，用以探测由该物组件通过该第一孔径光闸所传输该辐射之该第一被探测部分，该第一电磁辐射探测器产生第一信号，由该第一信号推断出该对应的复数个相邻焦外目标物中的各自目标物的温度。

2.如权利要求1所述的高温计系统，其中该复数个相邻焦外目标物的相邻目标物限定出其间的各自空间。

3.如权利要求1所述的高温计系统，其中该复数个辐射测温计用以观察晶圆载具上之晶圆，该晶圆载具被设置于化学气相沉积室内，且其中该复数个相邻焦外目标物完全被该晶圆对到。

4.如权利要求3所述的高温计系统，其中该焦外目标物被该晶圆对到的情形周期性出现。

5.如权利要求1-4中任一项所述的高温计系统，其中该复数个辐射测温计中至少一个包含第一反射计子组件，该第一反射计子组件包含第一分束器及第一辐射源，该第一辐射源用以产生电磁辐射的第一光束，该第一分束器用以沿着该第一光学轴而传递该第一光束的一部分，以照射该对应的复数个相邻焦外目标物中的各自目标物。

6.如权利要求5所述的高温计系统，其中该第一反射计子组件调制该第一光束。

7.如权利要求6所述的高温计系统，其中该第一反射计子组件利用截波器调制该第一光束。

8.如权利要求1-4中任一项所述的高温计系统，其中该复数个辐射测温计中至少一个包含缩减的孔径组件，其用以选择性地减少由该第一电磁辐射探测器所探测到的该辐射的该第一被探测部分。

9.如权利要求1-4中任一项所述的高温计系统，其中该复数个辐射测温计中至少一个包含第二远心光学装置，该第二远心光学装置包含：

第二孔径光闸，用以接收来自该物组件之辐射，该物组件及该第二孔径光闸限定出通过该参考点的第二光学轴，该第二孔径光闸位于与该参考点相隔一段距离，该距离等于该物组件的该焦距，以将来自于该对应的复数个相邻焦外目标物中的各自目标物的该辐射的第二被探测部分聚焦于该第二孔径光闸上；及

第二电磁辐射探测器，用以探测由该物组件通过该第二孔径光闸所传输的该辐射的该第二被探测部分，该第二电磁辐射探测器产生第二信号，由该第二信号推断出该对应的复数个相邻焦外目标物中的各自目标物的该温度。

10.如权利要求9所述的高温计系统，其中辐射的该第一被探测部分在电磁辐射之红外光谱范围，辐射的该第二被探测部分在电磁辐射之可见光谱范围。

11.如权利要求9所述的高温计系统，还包含冷光镜，该冷光镜沿着该第一光学轴及该第二光学轴加以设置，且传送辐射的该第一被探测部分并反射辐射的该第二被探测部分。

12.如权利要求10或11所述的高温计系统，其中辐射的该第二被探测部分限定出波长带通，该波长带通的中心是大于或等于400nm、且小于或等于410nm之波长。

13.如权利要求10或11所述的高温计系统，其中辐射的该第一被探测部分限定出包含930nm波长的波长带通。