[发明专利]一种可集成化的光控分子开关器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201710251139.7 | 申请日： | 2017-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN107093602B | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 杨国锋;谢峰;汪金;张秀梅;郑亚鹏 | 申请（专利权）人： | 合肥汇芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L25/16 | 分类号： | H01L25/16;H01L51/00;H01L51/44;H01L51/48;H01L33/00;H01L33/24;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 合肥中谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34146 | 代理人： | 洪玲 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高新区黄山路6*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 集成化 光控 分子 开关 器件 及其 制备 方法 | ||
1.一种可集成化的光控分子开关器件，其特征在于：所述光控分子开关器件包括光控分子开关衬底，所述光控分子开关衬底上依次设有发光元件、光波导层和光控分子开关元件，所述发光元件和光控分子开关元件通过光波导层连接，所述发光元件包括至少两个纳米线LED，且其中至少有一个紫外光纳米线LED和一个可见光纳米线LED，所述光控分子开关元件由一个或多个二芳基乙烯化合物组成。
2.根据权利要求1所述的一种可集成化的光控分子开关器件，其特征在于：所述光波导层的材料采用SiNx或SiO2中的一种。
3.根据权利要求1所述的一种可集成化的光控分子开关器件，其特征在于：所述光控分子开关器件的尺寸不大于100μm。
4.根据权利要求1所述的一种可集成化的光控分子开关器件，其特征在于：所述光控分子开关衬底选自蓝宝石、硅、氮化镓、砷化镓、氮化铝或尖晶石中的一种。
5.根据权利要求1所述的一种可集成化的光控分子开关器件，其特征在于：所述二芳基乙烯化合物为二噻吩乙烯分子。
6.根据权利要求1所述的一种可集成化的光控分子开关器件，其特征在于：所述光波导层为SiNx薄膜，且SiNx薄膜上设有钝化层，所述钝化层为SiO2层。
7.一种可集成化的光控分子开关器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、在光控分子开关衬底上制备一层厚200-300nm SiO2层；
S2、将包括可见光和紫外光的纳米线LED和光控分子开关元件移至上述步骤S1得到的SiO2层上，所述光控分子开关元件由一个或多个二芳基乙烯化合物组成；
S3、在所述SiO2层上制备光波导层，所述光波导层位于纳米线LED与光控分子开关元件之间，作为LED光传输至光控分子开关元件的通道；
S4、在步骤S3所述光波导层上制备钝化层。
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