[发明专利]Nb2O5掺杂AZO的制备在审

专利信息
申请号: 201710250083.3 申请日: 2017-04-17
公开(公告)号: CN108727011A 公开(公告)日: 2018-11-02
发明(设计)人: 尚福亮;王晨;肖超;董磊;朱佐祥;彭伟;高玲;杨海涛 申请(专利权)人: 杨海涛
主分类号: C04B35/453 分类号: C04B35/453;C04B35/622;C04B35/64;C23C14/08;C23C14/34
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518060 广东省深圳市南山区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 制备 透明导电氧化物材料 薄膜太阳能电池 材料制备技术 溅射镀膜靶材 非金属元素 充分混合 烧结 电阻率 成型 掺杂 应用
【权利要求书】:

1.Nb-AZO靶材的制备,实验采用球磨(加成型剂)—卸料—干燥—过筛—干压成型—烧结制备工艺流程,可制备出密度达5.57 g/cm3, 抗弯强度达140MPa, 电阻率小于9×10-4Ω·cm的高性能靶材。

2.对权利要求1所述的Nb-AZO粉体的烧结,既可采用常压烧结工艺,也适用于气压烧结工艺,另外也可将权利要求1所述的Nb-ZAO粉体直接热压而得到致密Nb-AZO靶材。

3.利用权利要求1所述Nb-AZO粉体制备的Nb-AZO材料,可制成各种复杂形状的制品,主要是溅射镀膜用的靶材(包括平面靶和旋转靶),也可用于制造其它多种导电零部件。

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