[发明专利]一种用于芯片焊接时批量定位的吸板装置有效
申请号: | 201710249131.7 | 申请日: | 2017-04-17 |
公开(公告)号: | CN106952849B | 公开(公告)日: | 2023-09-05 |
发明(设计)人: | 王志敏;黄丽凤 | 申请(专利权)人: | 如皋市大昌电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/60 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人: | 于忠洲 |
地址: | 226578 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 芯片 焊接 批量 定位 装置 | ||
1.一种用于芯片焊接时批量定位的吸板装置,其特征在于:包括吸板底座(1)、矩形框(2)以及底座气阀;矩形框(2)安装在吸板底座(1)上部;在吸板底座(1)下部设有支撑柱(16),在支撑柱(16)下端设有滚珠(17);在吸板底座(1)上部且位于矩形框(2)内阵列式设有芯片槽(3);在芯片槽(3)的槽底部设有芯片气孔(4);在吸板底座(1)内部设有与各个芯片气孔(4)相连通的底座气腔;在吸板底座(1)上部的左右侧边缘设有定位柱(5);底座气阀安装在吸板底座(1)的侧面,一端与底座气腔相连通,另一端用于与真空泵相连通;
底座气阀包括气阀压帽(8)、气阀筒体(7)、连接管(15)、气阀压簧(14)以及活塞杆(9);气阀筒体(7)的管口与底座气腔相连通;气阀压帽(8)固定安装在活塞杆(9)的一端上;气阀压簧(14)套设在活塞杆(9)上;活塞杆(9)的另一端贯穿气阀筒体(7)的筒底部,并在该端部上设有活塞柱体(11);在活塞柱体(11)的圆周面上环绕设置有与气阀筒体(7)的内腔壁(10)相贴紧的密封橡胶圈(12);在气阀筒体(7)的内腔壁(10)上设有由中段向管口处延伸的通气槽(13),且通气槽(13)的槽宽在延伸方向上逐渐变宽;连接管(15)对接安装在气阀筒体(7)未设置通气槽(13)的位置处;连接管(15)与气源系统的气管相连;
在吸板底座(1)的侧面且靠近底座气阀处设有把手(6)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造