[发明专利]六自由度压电驱动装置及其激励方法有效
| 申请号： | 201710245468.0 | 申请日： | 2017-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN106877734B | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 刘英想;邓杰;石胜君;陈维山;冯培连 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H02N2/06 | 分类号： | H02N2/06;H02N2/04 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 刘士宝 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 自由度 压电 驱动 装置 及其 激励 方法 | ||
1.六自由度压电驱动装置，其特征在于，它包括四组压电振子(1)、基体(2)和工作台(3)，
四组压电振子(1)的结构均相同，每组压电振子(1)包括水平弯曲压电陶瓷组(1-1)、竖直弯曲压电陶瓷组(1-2)和前端盖(1-3)，
水平弯曲压电陶瓷组(1-1)和竖直弯曲压电陶瓷组(1-2)组成的陶瓷组的首端与基体(2)的四个侧面固定连接，水平弯曲压电陶瓷组(1-1)和竖直弯曲压电陶瓷组(1-2)组成的陶瓷组的末端连接有前端盖(1-3)，前端盖(1-3)末端设置有驱动足(1-5)，且驱动足(1-5)侧壁与工作台(3)接触；
第一组压电振子(1-6)与第三组压电振子(1-8)同轴，第二组压电振子(1-7)与第四组压电振子(1-9)同轴，第一组压电振子(1-6)与第二组压电振子(1-7)轴向垂直；
水平弯曲陶瓷组(1-1)包括m片水平弯曲陶瓷(1-1-1)，竖直弯曲陶瓷组(1-2)包括n片竖直弯曲陶瓷(1-2-1)，其中，m、n均为大于等于2的偶数；
相邻两个水平弯曲陶瓷(1-1-1)之间设置有电极片(1-4)，相邻两个竖直弯曲陶瓷(1-2-1)之间设置有电极片(1-4)，
对水平弯曲压电陶瓷组(1-1)中的电极片(1-4)施加电压激励信号时水平弯曲压电陶瓷组(1-1)沿水平方向弯曲，对竖直弯曲压电陶瓷组(1-2)中的电极片(1-4)施加电压激励信号时竖直弯曲压电陶瓷组(1-2)沿竖直方向弯曲，第一组压电振子(1-6)和第三组压电振子(1-8)的水平弯曲压电陶瓷组(1-1)施加正向电压激励信号时沿X轴正向弯曲，施加负向电压激励信号时沿X轴负向弯曲，
第二组压电振子(1-7)和第四组压电振子(1-9)的水平弯曲压电陶瓷组(1-1)施加正向电压激励信号时沿Y轴正向弯曲，施加负向电压激励信号时沿Y轴负向弯曲；
四组压电振子(1)的竖直弯曲陶瓷组(1-2)施加正向电压激励信号时沿Z轴正向弯曲，施加负向电压激励信号时沿Z轴负向弯曲。
2.根据权利要求1所述的六自由度压电驱动装置，其特征在于，竖直弯曲陶瓷组(1-2)与基体(2)的四个侧面固定连接或者水平弯曲陶瓷组(1-1)与基体(2)的四个侧面固定连接。
3.根据权利要求1所述的六自由度压电驱动装置，其特征在于，所述的四组压电振子(1)在驱动过程中，驱动足(1-5)末端质点的空间运动轨迹为任意的闭合多边形。
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