[发明专利]数据传输方法、非暂时性存储介质、数据传输设备、光刻装置和制造产品的方法

权利要求书

1.一种数据传输方法，其特征在于，该数据传输方法将记录在制造装置的日志数据中的日志信息的数据发送到外部设备，所述数据传输方法包括：

存储包括第一标识符的信息以及与第一标识符对应的第二标识符的信息的对应信息，该第一标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第一标识符由所述制造装置和外部设备两者使用，第二标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第二标识符由所述制造装置使用；以及

基于所述对应信息获得与记录在日志信息中的所述第二标识符的信息相对应的第一标识符的信息，以及发送已经添加了所获得的第一标识符的信息的日志信息的数据，

其中所述存储和获得由信息处理装置执行，

其中，在所述存储中，存储添加有与第一标识符的信息和第二标识符的信息相对应的事件时间的信息的对应信息，并且

其中，在所述获得中，在所述对应信息中存在相同的多条日志信息的第二标识符的信息的情况下，基于所述对应信息获得与最接近日志信息的事件时间的信息的一条第二标识符的信息相对应的事件时间的信息，并且获得与所述事件时间的信息相对应的第一标识符的信息。

2.根据权利要求1所述的数据传输方法，

其中所述第二标识符的信息是如下的序列数：如果该序列数超过一定的数，则该序列数返回到初始数。

3.根据权利要求1所述的数据传输方法，

其中所述日志信息包括包含第一标识符的信息的日志信息和不包含第一标识符的信息的日志信息。

4.根据权利要求1所述的数据传输方法，

其中所述发送包括每当所述日志信息被记录时发送所述日志信息的数据。

5.根据权利要求1所述的数据传输方法，

其中所述获得包括从所述日志数据读取所述日志信息并发送所述日志信息的数据。

6.根据权利要求1所述的数据传输方法，

其中所述制造装置是在基板上形成图案的光刻装置。

7.一种非暂时性存储介质，其特征在于，该非暂时性存储介质存储使信息处理设备执行数据传输方法的程序，该数据传输方法将记录在制造装置的日志数据中的日志信息的数据发送到外部设备，

其中所述数据传输方法包括：

存储包括第一标识符的信息以及与第一标识符对应的第二标识符的信息的对应信息，该第一标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第一标识符由所述制造装置和外部设备两者使用，第二标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第二标识符由所述制造装置使用；以及

基于所述对应信息获得与记录在日志信息中的所述第二标识符的信息相对应的第一标识符的信息，以及发送已经添加了所获得的第一标识符的信息的日志信息的数据，

其中，在所述存储中，存储添加有与第一标识符的信息和第二标识符的信息相对应的事件时间的信息的对应信息，并且

其中，在所述获得中，在所述对应信息中存在相同的多条日志信息的第二标识符的信息的情况下，基于所述对应信息获得与最接近日志信息的事件时间的信息的一条第二标识符的信息相对应的事件时间的信息，并且获得与所述事件时间的信息相对应的第一标识符的信息。