[发明专利]用于减少磁场的接线布局

说明书

本发明公开用于减少磁场的接线布局，其中公开一种磁性传感器(100)具有带有四极区(112)的电路区段(104)。该四极区(112)包括全部在导体层中的供应线(106)、第一返回线(108)和第二返回线(110)。第一返回线(108)在第一侧上横向邻近供应线(106)，并且第二返回线(110)在第二相对侧上横向邻近供应线(106)。供应线(106)与第一返回线(108)之间的空间没有导体层；类似地，供应线(106)与第二返回线(110)之间的空间没有导体层。第一返回线(108)和第二返回线(110)在该电路区段(104)的末端(122)处电耦合到供应线(106)。

技术领域

本发明涉及磁性传感器领域。更具体地，本发明涉及磁性传感器中的接线布局。

背景技术

使用碱金属蒸气室和/或激光光源的磁性传感器通常具有加热器电路，以便将腔室和激光器维持在期望的温度。加热器电路的加热元件经常被形成在导体层中，以便减少磁性传感器的制造成本。通过加热器元件的电流产生干扰磁性传感器的操作的磁场。具有邻近电流返回线的电流供应线的布局在某种程度上减少了干扰磁场，但仍限制了磁性传感器的灵敏度。

发明内容

以下内容呈现了简化概述以便提供本发明的一个或多个方面的基本理解。本概述不是本发明的广泛综述，并且既不旨在识别本发明的关键或重要元素，也不旨在描绘其范围。相反，本概述的主要目的是为了以一种简化形式呈现本发明的一些概念，以作为下文呈现的更详细描述的序言。

一种磁性传感器具有电路，所述电路包括具有四极区(quadrupole region)的电路区段。该电路区段包括导体层中的供应线、导体层中的第一返回线和导体层中的第二返回线。在四极区中，第一返回线在供应线的第一侧上横向邻近供应线，并且第二返回线在供应线的与第一侧相对的第二侧上横向邻近供应线。在四极区中，供应线与第一返回线之间的空间没有导体层；类似地，在四极区中，供应线与第二返回线之间的空间没有导体层。第一返回线在电路区段的末端处电耦合到供应线，并且第二返回线在该末端处电耦合到供应线。

附图说明

图1描绘了具有电路区段的示例磁性传感器，所述电路区段具有四极区。

图2描绘了具有电路区段的另一个示例磁性传感器，所述电路区段具有四极区。

图3描绘了具有多个电路区段的又一示例磁性传感器，所述多个电路区段具有四极区。

图4A至图4D描绘了形成磁性传感器的示例方法。

图5A至图5D描绘了形成磁性传感器的另一示例方法。

图6A和图6B描绘了形成磁性传感器的又一示例方法。

图7是具有电路区段的磁性传感器的衬底的替代性实例的截面图，所述电路区段具有四极区。

图8描绘了包含具有四极区的电路区段的示例磁性传感器。

图9至图11描绘了具有四极区的电路区段的替代性配置。

具体实施方式

参考附图来描述本发明。附图未按比例绘制，并且仅为了说明本发明而提供附图。本发明的若干方面在下文参考用于说明的示例性应用进行描述。应了解，阐述众多具体细节、关系和方法以便提供对本发明的了解。然而，本领域技术人员将容易认识到，本发明可以在没有一个或多个所述具体细节的情况下实践或利用其他方法来实践。在其他情况下，为了避免使本发明模糊，并未详细示出众所周知的结构或操作。本发明不受动作或事件的图示次序限制，同样一些动作可能以不同次序发生和/或与其他动作或事件同时发生。此外，并非所有图示动作或事件均为实施本发明的方法所需要。