[发明专利]靶材组件的制造方法

说明书

本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：提供钛靶材的坯料以及背板，所述坯料具有溅射面以及与所述溅射面相对的焊接面；对所述焊接面进行车削加工，在所述焊接面上形成螺纹；将所述钛靶材的坯料与所述背板采用热等静压工艺焊接在一起，形成靶材组件。本发明制造方法形成的靶材组件质量得到提高。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种靶材组件的制造方法。

背景技术

溅射技术是半导体制造领域的常用工艺之一，随着溅射技术的日益发展，溅射靶材在溅射技术中起到了越来越重要的作用，溅射靶材的质量直接影响到了溅射后的成膜质量。

在溅射靶材制造领域中，靶材组件是由符合溅射性能的坯料、与坯料通过焊接相结合的背板构成，且通常是将半成品坯料焊接至所述背板上后，对所述半成品坯料进行车削加工，将所述半成品坯料加工至成品尺寸和形貌。

然而，现有技术形成的靶材组件质量有待提高。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种靶材组件的制造方法，提高所述靶材组件的质量。

为解决上述问题，本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：提供钛靶材的坯料以及背板，所述坯料具有溅射面以及与所述溅射面相对的焊接面；对所述焊接面进行车削加工，在所述焊接面上形成螺纹；将所述钛靶材的坯料与所述背板采用热等静压工艺焊接在一起，形成靶材组件。

可选的，所述螺纹的牙型角为55°至60°，螺距为0.7mm至0.75mm，螺高为0.52mm至0.62mm。

可选的，对所述焊接面进行车削加工的步骤包括：采用刀具对所述焊接面进行粗车削加工；采用刀具对所述焊接面进行精车削加工。

可选的，所述刀具的刀片为60°螺纹刀片。

可选的，所述坯料为圆柱体，对所述焊接面进行车削加工的步骤中，所述刀具从所述焊接面圆心沿径向移动。

可选的，对所述焊接面进行车削加工采用的主轴转速为195r/min至205r/min。

可选的，采用吃刀量为0.12mm至0.18mm进行粗车削加工4次，之后采用吃刀量为0.01mm至0.04mm进行精车削加工1次。

可选的，所述热等静压工艺的参数包括：将所述钛靶材的坯料与所述背板进行焊接采用的预热温度为400℃至500℃。

可选的，所述背板的材料为Al或者Cu。

可选的，对所述焊接面进行车削加工，在所述焊接面上形成螺纹之后，将所述钛靶材的坯料与所述背板进行焊接之前，所述方法还包括：采用背绒砂对所述焊接面进行抛光处理。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

通过对所述焊接面进行车削加工，以在所述焊接面上形成螺纹。所述螺纹能够起到增加所述钛靶材坯料焊接面粗糙度和均匀度的作用，从而使得所述焊接面的附着力得到提高。后续通过采用热等静压工艺将所述钛靶材的坯料与所述背板焊接在一起，形成所述靶材组件，由于所述焊接面的螺纹能够嵌入到所述背板里面，使得所述焊接面的附着力得到提到，从而增强了所述坯料的焊接面与所述背板之间的焊接强度，进而使得焊接以后的靶材组件不容易发生脱落或者焊接不良问题，因此改善了所述靶材组件的质量，即提高了所述靶材组件的导电性能以及使用寿命。