[发明专利]用于图案组成的喷嘴出口轮廓以及使用所述轮廓的装置和方法

权利要求书

1.一种用于将材料沉积到衬底上的装置，所述装置包括：

沉积喷嘴，其包括：

第一排气孔口；

第二排气孔口；

第一沉积孔口，其安置于所述第一排气孔口和所述第二排气孔口之间且相比于所述第二孔口更接近所述第一排气孔口；以及

第二沉积孔口，其安置于所述第一排气孔口和所述第二排气孔口之间且相比于所述第一排气孔口更接近所述第二排气孔口，其中所述第二沉积孔口沿着所述喷嘴的轴从所述第一沉积孔口偏移。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一沉积孔口和所述第二沉积孔口具有相同尺寸。

3.根据权利要求2所述的装置，其中当所述装置正在操作中时，每一沉积孔口的最长边缘沿着所述装置和所述衬底的相对移动的方向布置。

4.根据权利要求3所述的装置，其中所述第一沉积孔口和所述第二沉积孔口中的每一者为矩形。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一排气孔口和所述第二排气孔口为连续的。

6.根据权利要求5所述的装置，其中所述第一排气孔口和所述第二排气孔口为矩形，且当所述装置正在操作中时，所述第一排气孔口和所述第二排气孔口中的每一者的最长边缘沿着所述装置和所述衬底的相对移动的方向布置。

7.根据权利要求1所述的装置，其中，对于在所述第一排气孔口和所述第二排气孔口之间且垂直于所述第一排气孔口和所述第二排气孔口绘制的任何线，所述线与所述第一沉积孔口或所述第二沉积孔口中的不超过一者交叉。

8.根据权利要求1所述的装置，其中当所述装置正在操作中时，所述第一排气孔口和所述第二排气孔口在所述装置和所述衬底的所述相对移动方向上在所述第一沉积孔口和所述第二沉积孔口中的每一者前方和后方延伸。

9.根据权利要求8所述的装置，其中，对于在所述第一排气孔口和所述第二排气孔口之间且垂直于所述第一排气孔口和所述第二排气孔口绘制的任何线，所述线与所述第一沉积孔口或所述第二沉积孔口中的不超过一者交叉。

10.根据权利要求1所述的装置，其进一步包括待沉积于所述衬底上的材料的源，所述材料源与所述第一沉积孔口和所述第二沉积孔口成流体连通。

11.根据权利要求1所述的装置，其进一步包括与所述第一排气孔口和所述第二排气孔口成流体连通的外部真空源。

12.根据权利要求1所述的装置，其进一步包括与所述第一排气孔口和所述第二排气孔口成流体连通的约束气体源。

13.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一排气孔口和所述第二排气孔口各自具有沿着所述衬底和所述装置的相对运动方向的恒定宽度。

14.根据权利要求1所述的装置，其中所述装置包括印刷头。

15.一种沉积系统，其包括根据权利要求14所述的印刷头。

16.一种包括OLED的装置，其中所述OLED包括：

第一电极，其安置于衬底上方；

第一发射层，其安置于所述第一电极上方；以及

第二电极，其安置于所述发射层上方，

其中所述第一发射层是使用包括喷嘴的沉积装置的不超过一个遍次制造，在所述衬底的所述所印刷表面上的每个点上的沉积的起始和结束之间不超过1.0s内，所述喷嘴与待沉积在所述衬底上方的材料源成流体连通。

17.根据权利要求16所述的装置，其中所述装置包括选自由以下组成的群组中的至少一者：平板显示器、计算机监视器、医疗监视器、电视机、告示牌、用于内部或外部照明和/或发信号的灯、平视显示器、全透明或部分透明的显示器、柔性显示器、激光印刷机、电话、蜂窝电话、平板计算机、平板手机、个人数字助理PDA、膝上型计算机、数码相机、摄录像机、取景器、微型显示器、虚拟现实显示器、增强现实显示器、3-D显示器、交通工具、大面积墙壁、剧院或体育馆屏幕，和指示牌。

18.一种制造沉积装置的方法，所述方法包括：

切割晶片对从而形成包括沿着每一晶片的边缘的多个沉积孔口的微喷嘴阵列通道，每一孔口由通道和切割线的交叉界定；以及

结合所述晶片对从而形成沉积喷嘴，所述沉积喷嘴包括：

第一排气孔口；

第二排气孔口；

第一沉积孔口，其安置于所述第一排气孔口和所述第二排气孔口之间且相比于所述第二孔口更接近所述第一排气孔口；以及

第二沉积孔口，其安置于所述第一排气孔口和所述第二排气孔口之间，且相比于所述第一排气孔口更接近所述第二排气孔口，其中所述第二沉积孔口沿着所述喷嘴的轴从所述第一沉积孔口偏移。