[发明专利]一种玻璃板快速加热退火装置

说明书

本发明公开一种玻璃板快速加热退火装置，包括快速降温腔，快速降温腔包括用于支撑玻璃板的支撑机构和用于对玻璃板进行降温的冷却机构；冷却机构包括冷却板和局部冷却单元，冷却板上设置有通孔；支撑机构包括竖直设置的支撑架，支撑架穿过所述通孔来支撑玻璃板，所述支撑架有多个。本发明中的玻璃板快速加热退火装置在快速降温过程中，玻璃板的降温均匀，避免了玻璃板因为降温不均匀导致的刮伤问题，保证了产品的良率。

技术领域

本发明涉及显示面板制造设备领域，具体涉及一种玻璃板快速加热退火装置。

背景技术

阵列基板制程在液晶显示面板制造过程中起到非常重要的作用。阵列基板一般包括玻璃基板，通过阵列制作工程在玻璃基板上形成数以百万个按照矩阵排列的像素阵列。

在阵列基板制程中，RTA装置(Rapid Thermal Anneal，快速加热退火装置)的应用越来越多。一般，在快速加热退火装置中会有多个TCM腔(Tempreture control module,温度控制机构)和一个RCM腔(Rapid cooling module，快速降温机构)。在阵列基板制程中，一般玻璃基板会首先进入TCM腔，在TCM腔中温度一般可以达到很高的温度，例如450～520℃；然后再由TCM腔进入到RCM腔中，并在RCM腔降低到较低的温度，例如100～150℃，以防止对后续的制程造成影响。

在RTA中，一般将玻璃板放置于在载盘上，玻璃基板随着载盘在RTA装置中进行移动。载盘的移动一般用设置于TCM腔和RCM腔中的滚轮(Roller)带动实现。玻璃板在RCM腔中进行降温时，一般将带有玻璃板的载盘放置在滚轮上，冷却机构从载盘下方与载盘相接触，从而实现对载盘和玻璃板进行制冷，使得玻璃板快速降温。但是由于滚轮结构与载盘结构相接触，使得位于载盘下方的冷却机构必须避开滚轮结构，因此，冷却机构对于载盘结构的降温时不均匀的，与滚轮结构所在位置对应的位置上，由于冷却机构的部分缺失导致载盘结构降温较慢，而在其他位置相对降温较快。载盘上玻璃板会受到同样影响，玻璃板上的温度降低速率不同，从而导致玻璃板与载盘接触的一面受损，在后续对玻璃基板的薄化处理后，会发现降温速度较慢的位置玻璃基板的刮伤扩大，影响产品良率。

发明内容

为了解决现有技术中的玻璃板快速加热退火装置中存在的玻璃板降温不均匀，降温速度较慢的位置玻璃板的刮伤扩大，影响产品良率的技术问题。

本发明提供一种玻璃板快速加热退火装置，包括快速降温腔，所述快速降温腔包括用于支撑玻璃板的支撑机构和用于对玻璃板进行降温的冷却机构；所述冷却机构包括冷却板和局部冷却单元，所述冷却板上设置有通孔；所述支撑机构包括竖直设置的支撑架，所述支撑架穿过所述通孔来支撑玻璃板，所述支撑架有多个。局部冷却单元的设置使得在快速降温过程中，玻璃板的降温均匀，避免了玻璃板因为降温不均匀导致的刮伤问题，保证了产品的良率。

在一个实施例中，所述支撑架为柱状结构，所述柱状结构第一端固定于腔体底部，所述柱状结构第二端设置有滚动结构，使用时所述玻璃板平放于所述滚动结构上，所述滚动结构用于带动玻璃板运动。滚动结构的设置，使得玻璃板的放入和取出更加方便。

在一个实施例中，所述支撑结构还包括载盘，所述载盘用于放置玻璃板，使用时所述载盘放置在滚动结构上。载盘结构的设置，避免了滚动结构与玻璃板的直接接触，从而避免了因为滚动摩擦对于玻璃板可能造成的损伤。

在一个实施例中，所述滚动结构包括多个滚轮，所述滚轮的滚动带动玻璃板运动。滚轮结构简单，方便制造和使用。

在一个实施例中，还包括冷却板升降结构，所述冷却板升降结构用于带动冷却板的升降。当需要对玻璃板进行冷却时，冷却板升降机构将冷却板升至靠近或紧贴玻璃板的位置，便于对玻璃板进行充分的冷却，冷却完成之后，将冷却板降至距离玻璃板有一定距离的位置，方便玻璃板移入或移出快速降温腔。