[发明专利]一种载液板及其制造方法以及磁性复合流体抛光头装置

权利要求书

1.一种载液板制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：设所述载液板吸附的磁性复合流体抛光液的磁性簇的顶端为半球形，顶端为半球形的所述磁性簇的标准直径为a，载液板上正四面体凹槽单元的棱长为x，所述磁性簇的顶端与所述正四面体凹槽单元的底面正三角形内切，即有：

得所述正四面体凹槽单元的棱长为：

由所述正四面体凹槽单元的棱长得到所述正四面体凹槽单元的深度h₀为：

步骤二：按照2：2：1：0.5：0.25的比例设计基板正四面体凹槽深度h₁和附板Ⅰ、附板Ⅱ、附板Ⅲ、附板Ⅳ正三棱台厚度h₂，h₃，h₄，h₅，得到h₁，h₂，h₃，h₄，h₅与所述正四面体凹槽单元的深度h₀关系为：

基板、附板Ⅰ、附板Ⅱ、附板Ⅲ、和附板Ⅳ的正四面体凹槽和正三棱台通孔的底面正三角形的边长分别为x₁，x₂，x₃，x₄，x₅，得：

步骤三：所述载液板的组合情况有：基板、基板+附板Ⅰ、基板+附板Ⅰ+附板Ⅱ、基板+附板Ⅰ+附板Ⅱ+附板Ⅲ、基板+附板Ⅰ+附板Ⅱ+附板Ⅲ+附板Ⅳ，这五种组合所述载液板配合的所述磁性簇的最大直径分别为a₁，a₂，a₃，a₄，a₅，计算：

a₃＝a (16)

上述载液板能满足配合的所述磁性簇的直径范围为：

基板、基板+附板Ⅰ、基板+附板Ⅰ+附板Ⅱ、基板+附板Ⅰ+附板Ⅱ+附板Ⅲ、基板+附板Ⅰ+附板Ⅱ+附板Ⅲ+附板Ⅳ，这五种组合载液板满足的所述磁性簇的直径调节范围分别为：

步骤四：依据所述磁性簇直径的范围，选取所需的所述载液板的组合情况。

2.一种载液板由权利要求1所述的载液板制造方法制造，其特征在于：

所述载液板具有多个正四面体凹槽单元，

所述载液板由基板、附板Ⅰ、附板Ⅱ、附板Ⅲ以及附板Ⅳ层层叠加而组成，

所述基板、附板Ⅰ、附板Ⅱ、附板Ⅲ以及附板Ⅳ上具有凹槽或通孔，所述凹槽以及所述通孔相匹配共同构成所述正四面体凹槽单元。

3.根据权利要求2所述的载液板，其特征在于：

其中，多个所述正四面体凹槽单元呈多圈的环形阵列排布。

4.一种磁性复合流体抛光头装置，用于对工件进行抛光，其特征在于，包括：

磁铁旋转部，用于产生高速旋转的磁场，包含：第一驱动电机、由所述第一驱动电机带动的主轴、与所述主轴相连的磁铁盘以及固定在所述磁铁盘下方的永久磁铁，以及

载液板旋转部，用于磁性复合流体旋转，包含：第二驱动电机、由第二驱动电机带动的V型带轮、与所述V型带轮连接的V带、与所述V带连接的连接支架以及固定在所述连接支架末端的载液板，

其中，所述载液板为权利要求2～3中任意一项所述的载液板，用于磁性吸附所述磁性复合流体，

所述磁铁盘以及所述永久磁铁安装在所述连接支架内。