[发明专利]基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器有效
| 申请号： | 201710226797.0 | 申请日： | 2017-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN107063430B | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 丑修建;穆继亮;徐方良;高翔;胡磊;石树正;耿文平;薛晨阳 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01H3/12 | 分类号： | G01H3/12;G01H11/08 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;武建云 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压敏电阻 基准电阻 矢量水听器 框型基座 球形振子 振型 环形连接体 压阻效应 横梁 惠斯通电桥结构 微型化 差模抑制 低频特性 高灵敏度 工作频带 共模输出 金属引线 条边 串联 优化 | ||
1.一种基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于：包括框型基座（1），所述框型基座（1）上的四条边分别通过横梁（2）连接环形连接体（3），所述环形连接体（3）上安装球形拾振单元（4），所述球形拾振单元（4）的密度为1g/cm3；四根横梁（2）外侧分别设置有压敏电阻R11、压敏电阻R12、压敏电阻R13和压敏电阻R14，所述框型基座（1）上设置有基准电阻R2、基准电阻R3和基准电阻R4；压敏电阻R11、R12、R13 、R14串联后与基准电阻R2、R3和R4通过金属引线（5）连接成惠斯通电桥结构，各基准电阻阻值为各压敏电阻阻值的4倍。
2.根据权利要求1所述的基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于：各压敏电阻是采用离子注入的方式制成沿<110>晶向布置的P型硅电阻条，长100μm、宽20μm；各基准电阻是采用离子注入的方式制成沿<110>晶向布置的P型硅电阻条，长400μm、宽20μm。
3.根据权利要求2所述的基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于：所述框型基座（1）外边长5000μm、内边长3500μm；所述横梁（2）长900μm、宽120μm、厚30μm；所述环形连接体（3）外径1700μm、内径1500μm、厚度30μm；所述球形拾振单元（4）直径1500μm。
4.根据权利要求1所述的基于压阻效应的MEMS同振型球形振子矢量水听器，其特征在于：所述球形拾振单元（4）采用聚乙烯材料制备。
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