[发明专利]一种碳纳米纤维的制备方法有效
申请号: | 201710225480.5 | 申请日: | 2017-04-07 |
公开(公告)号: | CN107119347B | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 张志勇;寇璐;闫军峰;赵武;贠江妮;翟春雪;李展 | 申请(专利权)人: | 西北大学 |
主分类号: | D01F9/127 | 分类号: | D01F9/127 |
代理公司: | 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 | 代理人: | 李婷 |
地址: | 710069 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 碳纳米纤维 制备 化学气相沉积 制备碳纳米 纤维 铜膜 退火 磁控溅射法 生长碳纳米 均一性 两步法 气流量 溅射 升高 | ||
本发明公布了一种碳纳米纤维的制备方法,包括以下步骤,第一步,采用磁控溅射法在衬底上溅射一层铜膜;第二步,采用化学气相沉积法在铜膜上生长碳纳米纤维,化学气相沉积法的条件包括:在Ar气流量600sccm环境下衬底温度逐渐升高,衬底温度在0‑800℃时升温速率为6℃/min‑8℃/min,衬底温度在800℃‑1000℃时升温速率为2℃/min‑3℃/min,当衬底温度达到1000℃时,先通入H2,再通入10sccm的CH4,最后退火降温得到碳纳米纤维。本发明首次制备得到直径百纳米以下的碳纳米纤维,同时,本发明的方法突破以往需要繁杂的方法制备碳纳米纤维,首次以两步法在Si衬底上制备碳纳米纤维,得到的碳纳米纤维均一性好。
技术领域
本发明属于碳材料制备技术领域,涉及一种碳纳米纤维的制备方法。
背景技术
碳纳米纤维是石墨碳构成的一维纳米材料,它的直径一般为10-500nm,长度分布在0.5-100μm,是介于纳米碳管和普通碳纤维之间的一维碳材料。碳纳米纤维作为一种新型碳材料,具有优异的物理、力学性能和化学稳定性,如高的比表面积、力学强度和杨氏模量,较好的导电性、导热性和热稳定性。近年来,随着人们对碳纳米纤维优异性能认识的深入,其应用领域也与日俱增,现己广泛应用在航空航天、文体用品、纺织机械、医疗器械、生物工程、建筑材料、化工机械、运输车辆等方面。
碳纳米纤维材料从发现、发展、功能化到应用都取得了巨大的进展,但是大规模制备还很难实现。目前很多研究工作者致力于研究碳纳米纤维的制备方法,主要有静电纺丝法、气相流动催化法、喷淋法和基体法,但这些制备方法制备出的碳纳米纤维粒径较大、耗时长,制备过程繁琐,另外使用的有机物碳源为苯等有毒物质,污染环境。张然然等人将制得的纳米纤维素水溶液放入冷冻干燥机中冷冻干燥48小时成棉絮状,然后将其放入滑轨炉中,在950℃时快速加热使其热解碳化成碳纳米纤维(张然然,李大纲.碳纳米纤维的制备及性能研究[C].“木(竹)材低碳加工与绿色保障”研讨会.2013)。
目前,已公开的碳纳米纤维的直径均在百纳米以上,付沙威等人通过静电纺织法制备的碳纳米纤维直径在200nm左右(付沙威,谢圆圆,沈璐,等.碳纳米纤维的制备及表征[J].吉林建筑工程学院学报,2012,29(2):79-82.),目前,最新的研究,Ying Liu等人所做(期刊:Carbon)碳纳米纤维的直径也在几百纳米以上(Liu Y,Zhou J,Fu W,et al.In situsynthesis of CoS x@carbon core-shell nanospheres decorated in carbonnanofibers for capacitor electrodes with superior rate and cyclingperformances[J].Carbon,2017,114:187-197.)。因此,如何得到百纳米以下的碳纳米纤维,一直是业界的研究热点。
发明内容
针对现有技术存在的不足,本发明提出一种碳纳米纤维的制备方法,具有制备方法简单、用时短、碳纳米纤维直径小的优点。
为解决上述问题,本发明采用的技术方案是:
一种碳纳米纤维的制备方法,包括以下步骤,
第一步,采用磁控溅射法在衬底上溅射一层铜膜;
第二步,采用化学气相沉积法在铜膜上生长碳纳米纤维,化学气相沉积法的条件包括:在Ar气流量600sccm环境下衬底温度逐渐升高,衬底温度在0-800℃时升温速率为6℃/min-8℃/min,衬底温度在800℃-1000℃时升温速率为2℃/min-3℃/min,当衬底温度达到1000℃时,先通入H2,再通入10sccm的CH4的同时调节H2流量为100sccm,Ar气流量为1000sccm,最后退火降温得到碳纳米纤维。
所述第一步中衬底采用含Si衬底。
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