[发明专利]三维微纳米非接触触发探头以及MEMS器件测量装置在审
| 申请号： | 201710224295.4 | 申请日： | 2017-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN106840032A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 程琳;李瑞君;李淼;程真英;李奕铭;周斌;王晓波;潘丽珠;汪晓;占晓友;李永;张雅雯;吴红;宣玉荣;闫达;唐毅;姚方方;徐鑫;王蕾 | 申请（专利权）人： | 安徽电气工程职业技术学院;国网安徽省电力公司培训中心;合肥工业大学;国网安徽省电力公司电力科学研究院;国网安徽省电力公司检修公司;国家电网公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230051 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三维 纳米 接触 触发 探头 以及 mems 器件 测量 装置 | ||
1.一种三维微纳米非接触触发探头，由可视化模块(2)和测量模块(1)构成，
所述可视化模块(2)由白光LED(21)、第一准直透镜(22)、非偏振分光棱镜(23)、偏振分光棱镜(27)、第二准直透镜(28)、聚焦透镜(29)、偏振片(24)、场透镜(25)和CCD相机(26)组成；
白光LED(21)发出的光经过第一准直透镜(22)准直后，再经过非偏振分光棱镜(23)、偏振分光棱镜(27)后进入由第二准直透镜(28)和聚焦透镜(29)组成的显微物镜，经过显微物镜聚焦在工件(3)表面；工件(3)表面反射回的光同样经过显微物镜、偏振分光棱镜(27)、非偏振分光棱镜(23)后以平行光线进入偏振片(24)、场透镜(25)，然后场透镜(25)将携带影像信息的平行光线成像在CCD相机(26)上；
测量模块(1)由激光器(11)、光栅(12)、偏振分光棱镜及四分之一波片(13)、圆柱透镜(14)、光电集成电路(16)和四象限传感器(15)组成；
从激光器(11)发出的光经光栅(12)射入偏振分光棱镜及四分之一波片(13)后被分为P光和S光，P光射到远方，S光则经四分之一波片并绕出射光方向整体旋转45度后进入到可视化模块(2)的偏振分光棱镜(27)，然后经过显微物镜后聚焦在工件(3)表面；由工件(3)表面反射回的光线则依次通过显微物镜、偏振分光棱镜(27)、偏振分光棱镜及四分之一波片(13)和圆柱透镜(14)后回到光电集成电路(16)中的四象限传感器(15)上，四象限传感器(15)的信号经过光电集成电路(16)处理后用于三维测量。
2.一种基于如权利要求1所述三维微纳米非接触触发探头的MEMS器件测量装置，其特征在于：由探头系统(4)、纳米微动台(6)、激光干涉仪(7)和被测微器件(5)组成，激光干涉仪(7)作为长度标准，纳米微动台(6)作为三维方向的移动部件，通过该装置对探头(4)进行标定和测试。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽电气工程职业技术学院;国网安徽省电力公司培训中心;合肥工业大学;国网安徽省电力公司电力科学研究院;国网安徽省电力公司检修公司;国家电网公司，未经安徽电气工程职业技术学院;国网安徽省电力公司培训中心;合肥工业大学;国网安徽省电力公司电力科学研究院;国网安徽省电力公司检修公司;国家电网公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710224295.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种最大化散流的螺旋形接地极及其电流溢散计算方法
- 下一篇：一种螺纹接地极
