[发明专利]金属部件的接合方法以及接合装置

权利要求书

1.一种接合方法，其向第一金属部件的照射面照射加热接合用激光而对上述第一金属部件的第一接合面进行加热，并将上述第一接合面和与上述第一接合面抵接的第二金属部件的第二接合面接合，其中，具备：

氧化膜形成工序，以第一输出向上述第一金属部件的上述照射面照射氧化膜形成用激光，并在上述照射面上形成与上述氧化膜形成用激光的上述第一输出以及照射时间相对应的膜厚的氧化膜；

第一反射激光检测工序，检测上述氧化膜形成用激光被上述照射面反射而生成的第一反射激光的输出亦即第二输出；

第一吸收率运算工序，基于在上述氧化膜形成工序照射的上述氧化膜形成用激光的上述第一输出以及由上述第一反射激光检测工序检测的上述第一反射激光的上述第二输出，运算上述第一金属部件的上述照射面中的上述氧化膜形成用激光的第一吸收率；

激光切换工序，在判定上述第一吸收率为规定的吸收率以上的情况下，将向上述照射面的上述氧化膜形成用激光的照射切换为上述加热接合用激光；以及

加热接合工序，在切换为上述加热接合用激光之后，以第三输出向上述照射面照射上述加热接合用激光，将上述第一接合面的温度加热至规定的接合温度并使上述第一接合面与上述第二接合面接合，

在上述加热接合工序中，上述加热接合用激光的上述第三输出比上述氧化膜形成用激光的上述第一输出小。

2.根据权利要求1所述的接合方法，其中，

上述规定的接合温度是能够使上述第一接合面与上述第二接合面成为以比液相状态低的温度成立、以固体的状态能够接合的固相状态的温度，

在上述加热接合工序中，上述第一接合面以及上述第二接合面在上述固相状态下沿压焊方向被加压而接合。

3.根据权利要求1或2所述的接合方法，其中，

上述第一吸收率在其与上述氧化膜的膜厚的关系中，具有相对于上述膜厚向增大方向的变化而交替出现极大值和极小值的周期性并且在上述氧化膜的膜厚为零的情况下变得最小的特性，

上述激光切换工序中上述规定的吸收率在与将第一膜厚范围与第二膜厚范围合并的膜厚范围对应的上述第一吸收率的范围内设定，在具有上述周期性的上述第一吸收率与上述膜厚的关系中，上述第一膜厚范围是在上述氧化膜的膜厚超过上述零，且与上述第一吸收率第一次作为上述极大值出现的第一极大值对应的第一极大膜厚，以及与在上述第一极大值之后上述第一吸收率作为上述极大值出现的第二极大值对应的第二极大膜厚之间，比与上述第一吸收率作为上述极小值出现的第一极小值对应的第一极小膜厚小的范围，上述第二膜厚范围，是在上述第一极小膜厚以上，并且包括上述第二极大膜厚，且与在上述第二极大值之后上述第一吸收率作为上述极大值出现的第三极大值对应的第三极大膜厚与上述第二极大膜厚之间，比与上述第一吸收率作为上述极小值出现的第二极小值对应的第二极小膜厚小的范围。

4.根据权利要求3所述的接合方法，其中，

上述第一吸收率的范围是20％～60％。

5.根据权利要求3所述的接合方法，其中，

对于上述激光切换工序中的上述规定的吸收率而言，在具有上述周期性的与上述膜厚的关系中，在与上述第一膜厚范围对应的上述第一吸收率的范围内设定。

6.根据权利要求3所述的接合方法，其中，

上述规定的吸收率设定为上述第一极大值。

7.根据权利要求3所述的接合方法，其中，

上述规定的吸收率设定为40％。

8.根据权利要求1或2所述的接合方法，其中，

在上述氧化膜形成工序中，上述氧化膜形成用激光与上述照射面正交地入射。