[发明专利]NiO纳米结构阵列材料、制备方法、电致变色器件

权利要求书

1.一种NiO纳米结构阵列材料的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1，清洗玻璃衬底和氧化铟锡导电玻璃衬底；

S2，利用自组装方法在S1清洗的玻璃衬底制备聚苯乙烯单层薄膜；

S3，用S1清洗的氧化铟锡导电玻璃衬底捞起S2制备的聚苯乙烯单层薄膜，在室温下自然干燥，形成单层胶体晶体模板；

S4，将S3制备的单层胶体晶体模板置于干燥箱中热处理；

S5，将S4热处理的模板取出后置于磁控溅射仪中，进行溅射镀膜；

S6，将S5溅射镀膜的模板取出后置于马弗炉加热，去除聚苯乙烯模板，形成球壳状结构的NiO纳米阵列材料。

2.根据权利要求1所述的一种NiO纳米结构阵列材料的制备方法，其特征在于：所述步骤S1具体的步骤为：

SA1，将玻璃衬底依次置于丙酮、乙醇和去离子水中分别超声清洗30分钟；

SA2，将玻璃衬底置于浓硫酸与双氧水体积比为3:1的混合液中浸泡8小时，然后超声清洗60分钟，再用去离子水反复清洗；

SA3，将玻璃衬底置于氨水、双氧水、去离子水体积比为1:1:3的混合液中超声清洗60分钟，用去离子水清洗多次后待用；

SA4，氧化铟锡导电玻璃衬底依次在丙酮、乙醇和去离子水中分别超声清洗30分钟，置于去离子水中待用。

3.根据权利要求1所述的一种NiO纳米结构阵列材料的制备方法，其特征在于：所述步骤S2的自组装方法，具体的步骤为：将S1清洗的玻璃衬底置于培养皿中央，向培养皿中缓慢加水，水面略高于玻璃片表面，但不没过玻璃片，然后将直径为1微米、质量百分比为10%的聚苯乙烯微球与乙醇和去离子水按照体积比1:4:4配成混合液，用移液器取20 微升聚苯乙烯微球的混合液滴在玻璃片上，混合液迅速从玻璃片上扩散至水面，并在水面自组装形成聚苯乙烯单层薄膜。

4.根据权利要求1所述的一种NiO纳米结构阵列材料的制备方法，其特征在于：所述步骤S4中干燥箱温度为100度，处理5分钟。

5.根据权利要求1所述的一种NiO纳米结构阵列材料的制备方法，其特征在于：所述步骤S5中磁控溅射靶材为Ni靶，真空度为5× 10-7托，溅射气体为高纯氩气，溅射功率为80W，溅射时间为1000-3000 s。

6.根据权利要求1所述的一种NiO纳米结构阵列材料的制备方法，其特征在于：所述步骤S6中马弗炉温度为400度，处理120分钟。