[发明专利]一种柔性电容式湿度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710216996.3 | 申请日： | 2017-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN106841331B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 姚尧;张慧;马文英;李蠡;凌味未;魏华;黄铫;陈功;杜江 | 申请（专利权）人： | 成都信息工程大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 韩雪 |
| 地址： | 610225 四川省成都市双*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 电容 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
1.一种柔性电容式湿度传感器，其特征在于：包括柔性衬底(1)、电极(2)和湿敏材料层(4)；所述电极(2)设置在柔性衬底(1)的一个表面上，柔性衬底(1)相对的另一个表面上设置有湿敏材料层(4)，电极(2)和湿敏材料层(4)通过柔性衬底(1)隔开；所述电极(2)由导线引出；
柔性电容式湿度传感器的制备方法包括以下步骤:
S1：清除柔性衬底(1)表面的污染物；
S2：在柔性衬底(1)的顶面旋涂湿敏材料层(4)，并干燥形成薄膜；
S3：在柔性衬底(1)的底面通过丝网印刷工艺形成螺旋形电极(2)；
S4：将电极(2)由导线引出；
S5：在电极(2)表面涂覆电极保护层(3)材料。
2.根据权利要求1所述的柔性电容式湿度传感器，其特征在于:所述电极(2)表面涂覆有电极保护层(3)。
3.根据权利要求2所述的柔性电容式湿度传感器，其特征在于:所述电极(2)沉积在柔性衬底(1)底面；所述湿敏材料层(4)旋涂在柔性衬底(1)顶面。
4.根据权利要求3所述的柔性电容式湿度传感器，其特征在于:所述电极(2)通过丝网印刷技术形成在柔性衬底(1)底面。
5.根据权利要求1或2或4所述的柔性电容式湿度传感器，其特征在于:所述电极(2)为叉指电极。
6.根据权利要求5所述的柔性电容式湿度传感器，其特征在于:所述叉指电极为螺旋形。
7.根据权利要求1或3所述的柔性电容式湿度传感器，其特征在于:所述柔性衬底(1)采用PET制成。
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