[发明专利]光学扫描装置

说明书

一种光学扫描装置，包括光源组件，扫描组件，静电驱动器，控制器和电流传感器。所述光源组件被配置为发射光。所述扫描组件被配置为扫描所述光。所述驱动器被配置为驱动所述扫描组件。所述控制器被配置为控制来自所述光源组件的光的发射。所述电流传感器被配置为感测由所述驱动器的容量变化产生的电流。所述控制器还被配置为：基于由所述电流传感器感测的所述感测到的电流，来控制来自所述光源组件的光的发射。

相关申请的交叉引用

本申请要求2016年3月31日提出的申请号为2016-072359的日本专利申请的优先权。在此全部引用日本专利申请2016-072359作为参考。

技术领域

本发明涉及一种在照射区域上扫描光束的光学扫描装置，更准确地说，涉及一种可以检测扫描停止或其它类似的故障的光学扫描装置。

背景技术

在日本特开专利申请公开号2008-116678(专利文献1)中公开的显示装置是传统的光学扫描装置(例如，0025和0026段落，图4和图5)的示例。专利文献1中的显示装置使用静电致动器，并且包括感测存储于电容器中的静电容量(electrostatic capacity)的传感器，所述电容器容纳于所述静电致动器内部。然后，该传感器产生检测信号并将其传递到振幅传感器。振幅传感器从检测信号中分析振幅。振幅传感器然后输出伺服信号(servosignal)，使得振幅在特定范围内。该伺服信号加上由图像信号提供组件提供的驱动信号，以产生传送到静电致动器的驱动信号。执行该控制以在特定角度范围内驱动反射表面(扫描镜)。

日本专利申请公开2006-284746(专利文献2)公开了一种具有故障诊断(troubleshooting)功能的MEMS装置，其中使用静电容量型位移传感器执行静电致动器的故障诊断(例如，0018和0020段，图7)。具有故障诊断功能的MEMS装置在微小衰减振动(damped vibration)期间检测静电致动器的静电容量的变化，当镜子在路径上移动或从路径退回(retracted)时，即当其被二进制(binarily)地移动时发生微小衰减振动。由静电容量的变化，基于衰减振动的相位和振幅的频率相应特性来诊断故障的前驱现象。

发明内容

然而，对于专利文献1中的显示装置，调整驱动信号使得静电容量保持在恒定值，但是，如果扫描镜由于与异物等的接触而应该停止，则不能检测到该停止状态，并且结果是继续提供驱动信号。

此外，对于专利文献2中的MEMS装置，根据二进制移动期间发生的微小阻尼振动来确定故障，但是当可移动组件由致动器连续不断地移动时，难以检测可移动组件(镜子)的故障。

鉴于此，本发明的目的是提供一种光学扫描装置，其可以通过准确地检测可移动组件的停止或另一种类似的故障状态，来抑制光束的照射位置固定时发生的事故。

[1]考虑到已知技术的状态并且根据本发明的第一方面，光学扫描装置包括光源组件，扫描组件，静电驱动器，控制器和电流传感器。所述光源组件被配置为发射光。所述扫描组件被配置为扫描所述光。所述驱动器被配置为驱动所述扫描组件。所述控制器被配置为控制来自所述光源组件的光的发射。所述电流传感器被配置为感测由所述驱动器的容量变化产生的电流。所述控制器被配置为基于由所述电流传感器感测的感测到的电流，来控制来自所述光源组件的光的发射。