[发明专利]一种P型黑硅双面电池的制备方法有效
申请号: | 201710207304.9 | 申请日: | 2017-03-31 |
公开(公告)号: | CN106952974B | 公开(公告)日: | 2019-06-11 |
发明(设计)人: | 张范;郑霈霆;张昕宇;许佳平;孙海杰;郭瑶 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/0236 | 分类号: | H01L31/0236;H01L31/028;H01L31/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 314416 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 型黑硅 双面 电池 制备 方法 | ||
本申请公开了一种P型黑硅双面电池的制备方法,包括在硅片的双面制绒;进行正面黑硅制绒、正面P型扩散并制作正面掩膜;去除所述硅片背面的PSG,并进行背面黑硅制绒;在所述硅片的背面制作背场及减反射膜,并制作正面减反射膜;在所述硅片的双面印刷电极。本申请提供的上述P型黑硅双面电池的制备方法,能够提高电池短波响应和光电流,增加电池转换效率,且能够提高电池良品率。
技术领域
本发明属于光伏电池技术领域,特别是涉及一种P型黑硅双面电池的制备方法。
背景技术
目前,硅基太阳能电池依然是世界上产量及安装量最高的太阳能电池,规模占所有光伏电池的90%以上,并且在未来很长一段时间内依然是主要形式,因此,如何继续降低制作成本并提高制作效率仍是一个重要的问题。
发明内容
为解决上述问题,本发明提供了一种P型黑硅双面电池的制备方法,能够提高电池短波响应和光电流,增加电池转换效率,且能够提高电池良品率。
本发明提供的一种P型黑硅双面电池的制备方法,包括:
在硅片的双面制绒;
进行正面黑硅制绒、正面P型扩散并制作正面掩膜;
去除所述硅片背面的PSG,并进行背面黑硅制绒;
在所述硅片的背面制作背场及减反射膜,并制作正面减反射膜;
在所述硅片的双面印刷电极。
优选的,在上述P型黑硅双面电池的制备方法中,
所述进行正面黑硅制绒之后,还包括第一次清洗。
优选的,在上述P型黑硅双面电池的制备方法中,
所述正面P型扩散为:设置温度为780℃至790℃,扩散16分钟至20分钟,并设定推进温度为820℃至830℃,推进20分钟至30分钟。
优选的,在上述P型黑硅双面电池的制备方法中,
所述去除所述硅片背面的PSG为:利用浓度为1%的氢氟酸浸泡所述硅片3分钟,去除所述硅片背面的PSG。
优选的,在上述P型黑硅双面电池的制备方法中,
所述去除所述硅片背面的PSG之后,还包括:
对所述硅片进行第二次清洗。
优选的,在上述P型黑硅双面电池的制备方法中,
所述进行背面黑硅制绒包括:
利用反应离子刻蚀方式进行背面黑硅制绒持续130秒至150秒,得到反射率为3%至6%的黑硅。
优选的,在上述P型黑硅双面电池的制备方法中,
所述去除所述硅片背面的PSG为:
利用浓度为10%至15%的氢氟酸作用5分钟至10分钟。
通过上述描述可知,本发明提供的上述P型黑硅双面电池的制备方法,由于包括在硅片的双面制绒;进行正面黑硅制绒、正面P型扩散并制作正面掩膜;去除所述硅片背面的PSG,并进行背面黑硅制绒;在所述硅片的背面制作背场及减反射膜,并制作正面减反射膜;在所述硅片的双面印刷电极,因此能够提高电池短波响应和光电流,增加电池转换效率,且能够提高电池良品率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的