[发明专利]一种P型黑硅双面电池的制备方法有效

专利信息
申请号: 201710207304.9 申请日: 2017-03-31
公开(公告)号: CN106952974B 公开(公告)日: 2019-06-11
发明(设计)人: 张范;郑霈霆;张昕宇;许佳平;孙海杰;郭瑶 申请(专利权)人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
主分类号: H01L31/0236 分类号: H01L31/0236;H01L31/028;H01L31/18
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 罗满
地址: 314416 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 型黑硅 双面 电池 制备 方法
【说明书】:

本申请公开了一种P型黑硅双面电池的制备方法,包括在硅片的双面制绒;进行正面黑硅制绒、正面P型扩散并制作正面掩膜;去除所述硅片背面的PSG,并进行背面黑硅制绒;在所述硅片的背面制作背场及减反射膜,并制作正面减反射膜;在所述硅片的双面印刷电极。本申请提供的上述P型黑硅双面电池的制备方法,能够提高电池短波响应和光电流,增加电池转换效率,且能够提高电池良品率。

技术领域

发明属于光伏电池技术领域,特别是涉及一种P型黑硅双面电池的制备方法。

背景技术

目前,硅基太阳能电池依然是世界上产量及安装量最高的太阳能电池,规模占所有光伏电池的90%以上,并且在未来很长一段时间内依然是主要形式,因此,如何继续降低制作成本并提高制作效率仍是一个重要的问题。

发明内容

为解决上述问题,本发明提供了一种P型黑硅双面电池的制备方法,能够提高电池短波响应和光电流,增加电池转换效率,且能够提高电池良品率。

本发明提供的一种P型黑硅双面电池的制备方法,包括:

在硅片的双面制绒;

进行正面黑硅制绒、正面P型扩散并制作正面掩膜;

去除所述硅片背面的PSG,并进行背面黑硅制绒;

在所述硅片的背面制作背场及减反射膜,并制作正面减反射膜;

在所述硅片的双面印刷电极。

优选的,在上述P型黑硅双面电池的制备方法中,

所述进行正面黑硅制绒之后,还包括第一次清洗。

优选的,在上述P型黑硅双面电池的制备方法中,

所述正面P型扩散为:设置温度为780℃至790℃,扩散16分钟至20分钟,并设定推进温度为820℃至830℃,推进20分钟至30分钟。

优选的,在上述P型黑硅双面电池的制备方法中,

所述去除所述硅片背面的PSG为:利用浓度为1%的氢氟酸浸泡所述硅片3分钟,去除所述硅片背面的PSG。

优选的,在上述P型黑硅双面电池的制备方法中,

所述去除所述硅片背面的PSG之后,还包括:

对所述硅片进行第二次清洗。

优选的,在上述P型黑硅双面电池的制备方法中,

所述进行背面黑硅制绒包括:

利用反应离子刻蚀方式进行背面黑硅制绒持续130秒至150秒,得到反射率为3%至6%的黑硅。

优选的,在上述P型黑硅双面电池的制备方法中,

所述去除所述硅片背面的PSG为:

利用浓度为10%至15%的氢氟酸作用5分钟至10分钟。

通过上述描述可知,本发明提供的上述P型黑硅双面电池的制备方法,由于包括在硅片的双面制绒;进行正面黑硅制绒、正面P型扩散并制作正面掩膜;去除所述硅片背面的PSG,并进行背面黑硅制绒;在所述硅片的背面制作背场及减反射膜,并制作正面减反射膜;在所述硅片的双面印刷电极,因此能够提高电池短波响应和光电流,增加电池转换效率,且能够提高电池良品率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。

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