[发明专利]一种玻璃孔表面缺陷层深度测量方法有效
| 申请号： | 201710203339.5 | 申请日： | 2017-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN107063112B | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 鲁卫国;王晓辉;王晓荣;王丽娜;李大琪 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 |
| 主分类号： | G01B11/22 | 分类号： | G01B11/22;G01N21/958 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 张毓灵 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 表面 缺陷 深度 测量方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种玻璃孔表面缺陷层深度测量方法，其特征在于：将两块楔形零件的角度面光学抛光后达到光胶要求之后将两角度面光胶在一起，并打孔得到贯通的孔结构，所述孔结构[3]轴线与角度面成30度角并贯穿角度面[2]；然后采用液位上升的方法对孔结构表面进行微量腐蚀，并利用显微镜对缺陷层进行测量；对孔结构表面进行微量腐蚀的方法具体为：将具有孔结构的楔形零件[1]以角度面[2]向下放置在存放HF酸[4]的容器口并保持平行，在容器中添加HF酸[4]以致其液位上升至角度面[2]接触，从而对孔结构[3]表面进行微量腐蚀。
2.根据权利要求1所述的玻璃孔表面缺陷层深度测量方法，其特征在于：所述缺陷层测量在激光共聚焦显微镜1500X下对表面缺陷[7]进行观测后应用设备自带分析测量软件对表面缺陷[7]进行测量。
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