[发明专利]表面处理金属氧化物溶胶

权利要求书

1.抗蚀剂材料用表面处理金属氧化物溶胶，其特征在于，其包含经表面处理的金属氧化物粒子和分散介质，所述经表面处理的金属氧化物粒子是将金属氧化物粒子的表面用式(1)表示的含有(甲基)丙烯酸系基团的有机硅化合物进行处理而得到的，

所述金属氧化物粒子为复合氧化物，所述复合氧化物为二氧化钛二氧化硅或二氧化钛二氧化硅氧化锡，含有以TiO₂计为50质量％以上的二氧化钛，

在所述金属氧化物粒子表面上，相对于100质量份所述金属氧化物粒子而言，设置有以R¹_n-SiO_(4-n)/2计为0.1～60质量份的所述有机硅化合物，其中，R¹为含有选自甲基丙烯酸系基团及丙烯酸系基团中的至少一者的基团，R¹彼此可以相同或不同，n为1～3的整数，

相对于100质量份所述金属氧化物粒子而言，设置于所述金属氧化物粒子表面上的所述有机硅化合物和除此以外存在于所述抗蚀剂材料用表面处理金属氧化物溶胶中的所述有机硅化合物的总含量以R¹_n-SiO_(4-n)/2计为0.1～100质量份，

在所述金属氧化物粒子与所述含有(甲基)丙烯酸系基团的有机硅化合物之间，所述经表面处理的金属氧化物粒子具有二氧化硅复合氧化物的层，所述二氧化硅复合氧化物选自二氧化硅氧化锆、二氧化硅氧化铝及二氧化硅二氧化钛，

所述二氧化硅复合氧化物的层的组成以式(2)的摩尔比表示时为33.3/66.7～99.5/0.5，

在所述二氧化硅复合氧化物的层与所述含有(甲基)丙烯酸系基团的有机硅化合物之间，还具有二氧化硅层，

所述抗蚀剂材料用表面处理金属氧化物溶胶中，钠以Na₂O浓度计为25ppm以下，钾以K₂O浓度计小于0.5质量％，氨以NH₃浓度计小于1000ppm，

R¹_n-SiX¹_(4-n) (1)，

其中，R¹为含有选自甲基丙烯酸系基团及丙烯酸系基团中的至少一者的基团，R¹彼此可以相同或不同，n为1～3的整数，X¹为烷氧基，

SiO₂/MO_X (2)

其中，MO_X为选自ZrO₂、Al₂O₃、TiO₂中的任一种。

2.如权利要求1所述的抗蚀剂材料用表面处理金属氧化物溶胶，其特征在于，所述金属氧化物粒子还包含铁和铈中的至少1种。

3.如权利要求1所述的抗蚀剂材料用表面处理金属氧化物溶胶，其特征在于，其含有以固态成分计为5～70质量％的所述经表面处理的金属氧化物粒子，且所述经表面处理的金属氧化物粒子的平均粒径为5～500nm。

4.如权利要求1～3中任一项所述的抗蚀剂材料用表面处理金属氧化物溶胶，其特征在于，所述分散介质含有至少1种SP值为10以上且沸点高于100℃的有机溶剂，在所述分散介质中含有30～95质量％的所述有机溶剂。

5.如权利要求1～3中任一项所述的抗蚀剂材料用表面处理金属氧化物溶胶，其特征在于，所述抗蚀剂材料用表面处理金属氧化物溶胶中，钠以Na₂O浓度计小于20ppm，钾以K₂O浓度计小于0.5质量％，氨以NH₃浓度计小于1000ppm。