[发明专利]一种键合合金丝的制备方法有效
申请号: | 201710201064.1 | 申请日: | 2017-03-30 |
公开(公告)号: | CN106935523B | 公开(公告)日: | 2019-09-03 |
发明(设计)人: | 冯忠卿;张贺源 | 申请(专利权)人: | 深圳粤通应用材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;C22C1/03;C22C5/06;C22F1/14;B21C1/02 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 518052 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 合金丝 制备 方法 | ||
1.一种键合合金丝的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
(1)采购99.995%银,并制成银片;
(2)制作中间合金,所述中间合金指银-钯中间合金、银-金中间合金、银-铈中间合金、银-铟中间合金中的一种;所述制作中间合金,包括以下步骤:
a.按重量百分比称取99.995%银片99.43%-99.50%,称取钯、金、铈、铟0.50-0.57%;
b.保护气体熔炼;
c.在保护气体下,自然冷却;
d.酸洗;
以上步骤制作出一种中间合金,按同样的工艺步骤制作出另外几种中间合金;
(3)竖式熔炼:将步骤(2)得到的中间合金在化验计算后添加到99.995%的银中,并在惰性气体氩气的保护下进行熔炼,拉铸,形成合金棒;
(4)拉丝:将熔铸的合金棒在拉丝机上逐步拉细,直至直径70-100μm;
(5)中间退火:先经过超声波清洗机清洗残留润滑剂,再退火,退火温度为300-600℃,退火速度为6.2m/s;
(6)再拉丝:再在细拉机上拉至所需直径;
(7)退火:将拉丝后所得的合金线装在压力为0.2-0.4MPa,水温为40-80℃的高压水清洗系统中进行清洗;退火温度为300-600℃,退火速度为62m/min,退火后进行表面处理;表面处理即:在键合合金丝表面附上一层高分子化合物,高分子化合物由10%表面活性剂、10%无水乙醇及80%双蒸水组成,能在键合合金丝表面形成一层致密的保护层;
(8)分卷:将键合合金丝缠绕于成品线轴;
(9)真空包装。
2.根据权利要求1所述的一种键合合金丝的制备方法,其特征在于:所述步骤(6)和步骤(7)之前还包括将拉丝后所得的合金线装在压力为0.2-0.4MPa,水温为40-80℃的超声波高压水清洗系统中进行清洗。
3.根据权利要求1所述的一种键合合金丝的制备方法,其特征在于:所述步骤(7)中退火后的表面处理指在键合合金丝表面附上一层高分子化合物,高分子化合物由10%表面活性剂、10%无水乙醇及80%双蒸水组成;上述制备方法所制得的键合合金丝的成分和重量百分比含量如下:钯2-3%,金0.3-0.7%,铈0.003-0.007%,铟0.005-0.01%,其余为银,银的纯度≥99.99wt%。
4.根据权利要求1所述的一种键合合金丝的制备方法,其特征在于:所述步骤(2)中真空熔炼的熔炼功率为10kW,待完全熔化后保持温度精炼10min。
5.根据权利要求1所述的一种键合合金丝的制备方法,其特征在于:所述步骤(2)中酸洗过程指将生成的中间合金先用纯水冷却,然后放到烧杯中并加入浓盐酸,将烧杯放到电炉上加热15min,煮完后再用纯水洗,最后用压缩空气吹干。
6.根据权利要求1所述的一种键合合金丝的制备方法,其特征在于:所述步骤(3)中熔炼温度为1000-1100℃,完全熔化后保持温度,精炼15min。
7.根据权利要求1所述的一种键合合金丝的制备方法,其特征在于:所述步骤(4)、(6)中,其拉丝过程中的模具延伸率为5%-18%,拉丝速度为3-15m/s。
8.根据权利要求1所述的一种键合合金丝的制备方法,其特征在于:所述步骤(8)中,其绕丝张力为0.5-20g,绕丝速度为400-800rpm。
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