[发明专利]分段栅场板垂直型电流孔径功率器件及其制作方法

权利要求书

1.一种分段栅场板垂直型电流孔径功率器件，包括:衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、两个对称的电流阻挡层(4)、沟道层(6)和势垒层(7)，势垒层(7)上的两侧淀积有两个源极(9)，两个源极(9)下方通过离子注入形成两个注入区(8)，源极(9)之间的势垒层上面淀积有栅极(10)，衬底(1)下面淀积有漏极(11)，在除漏极(11)底部以外的所有区域完全包裹有钝化层(13)，两个电流阻挡层(4)之间形成孔径(5)，其特征在于：

所述两个电流阻挡层(4)，采用由第一阻挡层(41)和第二阻挡层(42)构成的二级阶梯结构，且第一阻挡层(41)位于第二阻挡层(42)的外侧；

所述钝化层(13)，是由若干层绝缘介质材料自下而上堆叠而成，两侧的钝化层内制作有分段栅场板(12)；

所述分段栅场板(12)，是由m个浮空场板和一个栅场板构成，左右两侧的分段栅场板完全对称，m个浮空场板自下而上依次为第一浮空场板至第m浮空场板，所有浮空场板相互独立，栅场板在浮空场板的上面，栅场板及各浮空场板，均相互平行，栅场板与栅极(10)电气连接，m根据器件实际使用要求确定，其值为大于等于1的整数。

2.根据权利要求1所述的器件，其特征在于第一阻挡层(41)的厚度a为0.5～3μm，宽度c为0.2～1μm，第二阻挡层(42)的厚度b为0.3～1μm，宽度d为1.4～3.4μm，且ab。

3.根据权利要求1所述的器件，其特征在于分段栅场板(12)中，每个浮空场板的厚度L均为0.5～3μm，宽度R均为0.5～5μm。

4.根据权利要求1所述的器件，其特征在于同一侧的栅场板及各浮空场板，均相互平行，相邻两个场板之间的间距S_i不同，且自下而上依次减小，第m浮空场板与栅场板的垂直间距S_m的范围为0.1～1μm，i为整数且m≥i≥1。

5.根据权利要求1所述的器件，其特征在于分段栅场板(12)中，同一侧的栅场板及各浮空场板均相互平行，且距离漂移层(2)的水平距离T均相等，T满足d≤3.5a，其中，a为第一阻挡层(41)的厚度，d为第二阻挡层(42)的宽度。