[发明专利]单晶炉及其副室在审
| 申请号： | 201710197535.6 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN106702475A | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 沈浩锋;周杰;周林伟;朱伟忠;陈骝 | 申请（专利权）人： | 天通吉成机器技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶炉 及其 | ||
1.一种单晶炉的副室，其特征在于，所述副室(1)为伸缩式结构。
2.根据权利要求1所述的副室，其特征在于，所述副室(1)包括：
刚性副室(11)；
可轴向变形抗压副室(12)，与所述刚性副室(11)连接，用于轴向变形伸缩；
第一副室伸缩机构(13)，所述第一副室伸缩机构(13)的升降两端分别连接在所述可轴向变形抗压副室(12)的两端。
3.根据权利要求2所述的副室，其特征在于，所述可轴向变形抗压副室(12)为伸缩波纹管。
4.根据权利要求2或3所述的副室，其特征在于，所述可轴向变形抗压副室(12)设置于所述刚性副室(11)的一端或两端或中间位置。
5.根据权利要求2或3所述的副室，其特征在于，所述第一副室伸缩机构(13)包括：
电机(131)，设置于所述可轴向变形抗压副室(12)的一端；
丝杆(133)，与所述电机(131)的输出端传动连接；
螺纹套(134)，设置于所述可轴向变形抗压副室(12)的另一端，且与所述丝杆(133)螺纹配合连接。
6.根据权利要求5所述的副室，其特征在于，所述第一副室伸缩机构(13)还包括减速机(132)，所述丝杠(133)通过所述减速机(132)与所述电机(131)的输出端传动连接。
7.根据权利要求1所述的副室，其特征在于，所述副室(1)包括：
至少两个可相对轴向移动套接的刚性副室(11)；
第二副室伸缩机构，所述第二副室伸缩机构的升降两端分别连接所述副室(1)的两端。
8.一种单晶炉，包括副室(1)、主炉室(2)、提拉头(4)和竖直机架(7)，其特征在于，所述副室(1)为如权利要求1-7任一项所述的副室(1)，所述副室(1)的底端连接于所述主炉室(2)的炉盖上，所述副室(1)的顶端与所述提拉头(4)连接。
9.根据权利要求8所述的单晶炉，其特征在于，所述副室(1)的可轴向变形抗压副室(12)的两端分别与所述刚性副室(11)和所述提拉头(4)连接，所述副室(1)的第一副室伸缩机构((13))的升降两端分别连接于所述提拉头(4)和所述刚性副室(11)上。
10.根据权利要求8或9所述的单晶炉，其特征在于，所述提拉头(4)通过转动支架(5)水平转动连接于所述竖直机架(7)上。
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