[发明专利]一种单晶炉真空管道清理装置有效
| 申请号： | 201710196865.3 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN106838540B | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 周杰;沈浩锋;周林伟;朱伟忠;王谟 | 申请（专利权）人： | 天通吉成机器技术有限公司 |
| 主分类号： | F16L55/24 | 分类号： | F16L55/24;C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 真空 管道 清理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉真空管道清理装置，包括真空管道(2)和真空泵(3)，其特征在于，还包括：
与所述真空管道(2)连通的供气管道(4)，用于在长晶加热时，向所述真空管道内通入含氧气体，所述含氧气体与所述真空管道(2)内壁上附着的SiOx进行燃烧反应，得到粉末状物质，所述粉末状物质被所述真空泵(3)抽吸排出所述真空管道(2)外；
设置在所述供气管道(4)上的通断阀(5)；
设置在所述供气管道(4)上的节流阀(6)；
设置在所述供气管道(4)上的限流式垫片(7)。
2.根据权利要求1所述的单晶炉真空管道清理装置，其特征在于，所述通断阀(5)为气动阀或电动阀或手动阀。
3.根据权利要求1所述的单晶炉真空管道清理装置，其特征在于，所述供气管道(4)上沿靠近所述真空管道(2)的方向依次设置所述限流式垫片(7)、所述节流阀(6)和所述通断阀(5)。
4.根据权利要求1-3任一项所述的单晶炉真空管道清理装置，其特征在于，所述含氧气体为氧气或含氧混合气体。
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