[发明专利]一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法

权利要求书

1.一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法，其特征在于，包括以下工艺步骤：

(1)贴片：选用晶片贴片上蜡机，将衬底正面粘贴在陶瓷盘上，然后将表面残留胶擦拭干净；

(2)制备研磨液：采用碳化硅研磨粉、悬浮剂与去离子水混合制备研磨液，配置比例为碳化硅研磨粉：悬浮液：去离子水=1Kg：0.1L：1L~5L，搅拌速度为600转/分钟，研磨时间至少为10分钟使研磨液均匀分布；

(3)装配载具：将陶瓷盘放入载具，即自制的游星轮中，使陶瓷盘能够自转，陶瓷盘与游星轮同时放入双面研磨设备的下盘上，均匀分布摆置；

(4)研磨：双面研磨设备的下盘速度设定为20转/分钟，上盘设定为15转/分钟，确保上盘悬空于陶瓷盘上，不得接触陶瓷盘表面，研磨液流量设定为300mL/分钟，压力为陶瓷盘的自重即为5.7KG，加工时间为10分钟；

(5)将研磨后的衬底进行脱胶、清洗、退火、抛光即得蓝宝石衬底成品。

2.根据权利要求1所述的一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法，其特征在于，所述碳化硅研磨粉的型号为320#。

3.根据权利要求1所述的一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法，其特征在于，所述悬浮液为亚硝酸钠与三乙醇胺的混合溶液，其中亚硝酸钠与三乙醇胺的质量比为１：９。

4.根据权利要求1所述的一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法，其特征在于，所述陶瓷盘的直径为355mm，厚度为15mm。

5.根据权利要求1所述的一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法，其特征在于，所述游星轮为圆盘结构，其厚度为10mm，所述游星轮设有圆形通，所述圆形通孔与所述游星轮为偏心设置，所述圆形通孔的圆心与所述游星轮的圆心差为19mm，所述圆形通孔的直径为357mm。

6.根据权利要求1所述的一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法，其特征在于，步骤（4）中研磨的标准值为：去除量2-4um，Ra均值0.95um。

7.根据权利要求1所述的一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法，其特征在于，所述步骤（3）和（4）中的双面研磨设备与步骤（5）中的脱胶、清洗、退火、抛光的设备和操作方法均为行业常规的设备和操作方法。