[发明专利]砂轮主轴倾斜放置并可空间转动的超精密磨削装置

权利要求书

1.砂轮主轴倾斜放置并可空间转动的超精密磨削装置，其特征在于，它包括竖直结构件(1)、竖直轴运动平台(2)、直角转台连接件(3)、精密直驱转台(4)、线缆固定装置(5)、工作液转接装置(6)、过渡连接件(7)、一维微位移平台(8)、球头金刚石砂轮(9)、砂轮主轴(10)、砂轮主轴夹持装置(11)、超精密定位平台防护装置(12)、超精密定位平台(13)和竖直轴防护装置(14)；

竖直轴运动平台(2)的固定件通过内六角螺钉固定在竖直结构件(1)的横梁上，直角转台连接件(3)通过台阶定位销定位并与竖直轴运动平台(2)的运动部件连接，精密直驱转台(4)固定在直角转台连接件(3)的下安装面上，一维微位移平台(8)通过过渡连接件(7)连接在精密直驱转台(4)的下侧，一维微位移平台(8)的下连接面通过螺栓与超精密定位平台(13)的上端面连接；

砂轮主轴夹持装置(11)通过螺钉与超精密定位平台(13)的下端面连接，砂轮主轴(10)安装于砂轮主轴夹持装置(11)的圆孔中，通过内六角螺钉进行固定，球头金刚石砂轮(9)通过弹性夹头安装在砂轮主轴(10)底端；

竖直轴防护装置(14)安装在竖直结构件(1)的横梁上，竖直轴防护装置(14)套设在竖直轴运动平台(2)的外侧，用于对竖直轴运动平台(2)的防护；

工作液转接装置(6)安装在竖直轴防护装置(14)的内侧，所述工作液转接装置(6)用于实现工作液喷嘴的添加和转换；

超精密定位平台防护装置(12)通过螺钉连接与超精密定位平台(13)连接，且超精密定位平台防护装置(12)套设在超精密定位平台(13)的外侧；

线缆固定装置(5)用于固定砂轮主轴(10)的动力线和控制线。

2.根据权利要求1所述的砂轮主轴倾斜放置并可空间转动的超精密磨削装置，其特征在于，竖直轴运动平台(2)的行程为100mm，定位精度为0.5μm，直线度为1μm/25mm。

3.根据权利要求1或2所述的砂轮主轴倾斜放置并可空间转动的超精密磨削装置，其特征在于，超精密定位平台(13)的行程为12mm，定位精度为±0.1μm。

4.根据权利要求1或2所述的砂轮主轴倾斜放置并可空间转动的超精密磨削装置，其特征在于，竖直结构件(1)包括两个立柱和一个横梁，所述两个立柱通过内六角螺钉固定在横梁的下侧。

5.根据权利要求1或2所述的砂轮主轴倾斜放置并可空间转动的超精密磨削装置，其特征在于，直角转台连接件(3)为两个相互垂直的方板构成的L型结构，且所述L型结构的两侧设有两块筋板。

6.根据权利要求2所述的砂轮主轴倾斜放置并可空间转动的超精密磨削装置，其特征在于，精密直驱转台(4)径向跳动精度和轴向跳动精度均高于1.5μm。