[发明专利]一种机械运送装置

说明书

本发明涉及机械装置技术领域，具体涉及一种机械运送装置，包括多个机械臂用于运送基板，每个机械臂上安装有多个机械垫用于托住基板；在机械臂上均匀加工有多个凹槽，机械垫的下部设在凹槽内，机械垫下部形状与凹槽形状相适配；机械垫下部为锥形在基板发生翘曲时用于随着基板的重力偏移。其由多个机械臂和安装在机械臂上的多个机械垫组成，在机械臂上均匀加工有多个凹槽，机械垫的下部加工成锥形，将其安装在凹槽内，该设计可在使用过程中随着表面受力的不同发生转动，提高垫的使用寿命，减少破片的发生，提高产品效率。

技术领域

本发明涉及机械装置技术领域，尤其涉及一种机械运送装置。

背景技术

在TFT基板制作过程中，基板需要完成清洗、成膜、曝光显影、刻蚀、光阻剥离等不同道别的制程，这些制程需要在不同的机台内完成，在这一系列过程中，基板需要不断的通过机械臂进行机台间和机台内部的搬送。由于TFT基板厚度通常只有0.4～0.7mm，机械手臂承载基板时，因为基板厚度较薄的关系总会有一定的翘曲，基板与机械臂上的垫接触面减小，使用过程中常常发生垫磨损加剧，寿命减少的问题，严重时会发生因接触面减小摩擦力不足造成基板在机械手臂上位置偏移，发生破片。

发明内容

针对上述问题中存在的不足之处，本发明提供一种机械运送装置。

为实现上述目的，本发明提供一种机械运送装置，包括：

用于运送基板的多个机械臂，每一所述机械臂上安装有用于托住所述基板的机械垫；

在所述机械臂上均匀加工有多个凹槽，所述机械垫的下部设在所述凹槽内，所述机械垫下部形状与所述凹槽形状相适配；

所述机械垫的下部为锥形在所述基板发生翘曲时随着所述基板的重力偏移。

上述的机械运送装置，每个所述机械臂一端安装有用于限制所述基板滑出的挡块。

上述的机械运送装置，所述挡块靠近所述基板的一侧粘结有弹性垫。

上述的机械运送装置，所述机械垫的上部为圆柱形状，所述机械垫的上部和下部一体连接。

上述的机械运送装置，所述机械垫的上表面粘结有橡胶垫。

上述的机械运送装置，所述橡胶垫上压制有防滑纹或防滑凸点。

上述的机械运送装置，还包括控制装置和动力装置；其中，

所述动力装置与所述机械臂连接用于给所述机械臂提供动力；

所述控制装置和所述动力装置、所述机械臂连接用于控制所述机械臂和所述动力装置工作。

在上述技术方案中，本发明提供的机械运送装置，与现有技术相比，其由机械臂和安装在机械臂上的多个垫组成，在机械臂上均匀加工有多个凹槽，垫的下部加工成锥形，将其安装在凹槽内，该设计可使垫在使用过程中随着表面受力的不同发生转动，提高垫的使用寿命，减少破片的发生，提高产品效率。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。

图1为本申请的一个实施例中机械运送装置的结构示意图。

图2为本申请的一个实施例中机械运送装置的机械臂与垫的连接示意图。

图3为本申请的一个实施例中机械运送装置的机械臂的结构示意图。

图4为本申请的一个实施例中机械运送装置的垫的结构示意图。

图5为本申请的一个实施例中机械运送装置的橡胶垫的结构示意图。

图6为本申请的一个实施例中机械运送装置的挡块的结构示意图。

具体实施方式