[发明专利]一种光掩膜版以及石墨烯发光显示器件的制备方法有效
申请号: | 201710182670.3 | 申请日: | 2017-03-24 |
公开(公告)号: | CN106960896B | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 樊勇 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/36;H01L33/34;H01L21/84;H01L27/15 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;侯艺 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光掩膜版 以及 石墨 发光 显示 器件 制备 方法 | ||
1.一种石墨烯发光显示器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
在基板上制备薄膜晶体管阵列和石墨烯发光晶体管的栅极、栅绝缘层,所述石墨烯发光晶体管的栅极与所述薄膜晶体管的栅极通过同一个制程获得;
在形成有薄膜晶体管的基板表面,将氧化石墨烯分散液涂布均匀,形成氧化石墨烯薄膜;
提供一光掩膜版与所述氧化石墨烯薄膜对应,使光通过所述光掩膜版辐射到所述氧化石墨烯薄膜上,形成石墨烯发光晶体管的源极、漏极和石墨烯量子点层;
在形成石墨烯发光晶体管的基板表面依次形成绝缘层和隔水隔氧层;
其中,所述光掩膜版包括:
全透明部,其对应于所述源极、漏极所在区域;
遮光部,其对应于所述薄膜晶体管所在区域;
半透明部,其对应于所述石墨烯量子点层的所在区域。
2.根据权利要求1所述石墨烯发光显示器的制备方法,其特征在于,所述光为蓝色光。
3.根据权利要求2所述石墨烯发光显示器的制备方法,其特征在于,所述光的工作波长420~660nm。
4.根据权利要求1所述石墨烯发光显示器的制备方法,其特征在于,所述石墨烯栅极的材质为钼铝合金、铝银合金、铜钼铝合金中的一种。
5.一种利用权利要求1~4任一所述的制备方法制备得到的石墨烯发光显示器,包括:设置在基板上的若干个子像素单元,其特征在于,每个子像素单元包括:形成在基板上的驱动模块、开关模块和栅极,以及,形成在所述栅极上的栅极绝缘层、形成在所述栅极绝缘层上的源极、漏极以及连接于所述源极、漏极之间的石墨烯量子点层;所述开关模块与所述源极电连接,所述驱动模块与所述栅极电连接。
6.根据权利要求5所述石墨烯发光显示器,其特征在于,所述驱动模块使所述栅极至少具有三种电压模式,包括:
第一电压模式,使所述石墨烯量子点层发出红色光;
第二电压模式,使所述石墨烯量子点层发出绿色光;
第三电压模式,使所述石墨烯量子点层发出蓝色光。
7.根据权利要求6所述石墨烯发光显示器,其特征在于,
当所述栅极处于所述第一电压模式,工作电压范围为0~12V;
当所述栅极处于所述第二电压模式,工作电压范围为20~35V;
当所述栅极处于所述第三电压模式,工作电压范围为40~50V。
8.根据权利要求5所述石墨烯发光显示器,其特征在于,所述石墨烯栅极的材质为钼铝合金、铝银合金、铜钼铝合金中的一种。
9.根据权利要求5所述石墨烯发光显示器,其特征在于,还包括形成在所述石墨烯量子点层上的绝缘层、隔水隔氧层。
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