[发明专利]波长移相中基于FAST‑ICA算法的超薄平板干涉信号分离处理方法

权利要求书

1.一种波长移相中基于FAST-ICA算法的超薄平板干涉信号分离处理方法，其特征在于，由以下步骤实现：

步骤一：波长移相干涉仪通过波长调谐测量超薄平行平板，得到包含前后表面面形信息的一系列波长移相干涉图；

步骤二：根据像素列出时域序列干涉信号，对序列干涉信号去均值化：首先求出干涉信号的均值，然后将干涉信号减去均值，得到去均值化后的干涉信号；

步骤三：利用白化矩阵将均值化后的干涉信号进行白化；

步骤四：根据独立分量提取算法，利用分离矩阵处理白化后的去均值信号；

步骤五：判断是否收敛：如果收敛，则分离矩阵已最优，即得到待分离的前后表面干涉信号，执行第六步；如果不收敛，则分离矩阵不是最优，需要重新优化分离矩阵，再返回第四步；

步骤六：将分离后的前后表面干涉信号利用时域移相算法，计算求解得到前后表面面形。