[发明专利]一种多腔室间气氛隔离装置及方法

权利要求书

1.一种多腔室间气氛隔离装置，其特征在于：包括第一反应腔室和第二反应腔室，所述第一反应腔室与所述第二反应腔室之间设有隔离间室，所述隔离间室内设有第一隔离墙和第二隔离墙；

所述第一隔离墙和第二隔离墙共同围成进气腔，所述第一隔离墙与所述第一反应腔室的侧壁共同形成第一隔离腔，所述第二隔离墙与所述第二反应腔室的侧壁共同形成第二隔离腔；

所述第一隔离墙的顶部设有连通所述进气腔和所述第一隔离腔的第一进气狭缝，所述第二隔离墙的顶部设有连通所述进气腔和所述第二隔离腔的第二进气狭缝；

所述第一反应腔室的侧壁底部设有连通所述第一反应腔室和第一隔离腔的第一排气狭缝，所述第二反应腔室的侧壁底部设有连通所述第二反应腔室和第二隔离腔的第二排气狭缝；

所述第一隔离腔和第二隔离腔的底部分别设有第一出气口和第二出气口，用于连接抽气装置；所述进气腔连接有进气口，用于连接充气装置。

2.根据权利要求1所述的多腔室间气氛隔离装置，其特征在于：所述进气口处设有气体流量计。

3.根据权利要求1所述的多腔室间气氛隔离装置，其特征在于：所述第一反应腔室与所述第二反应腔室并列设置，所述第一隔离墙与所述第二隔离墙设置于所述第一反应腔室与所述第二反应腔室相邻的两个侧壁之间，且所述第一隔离墙和所述第二隔离墙平行。

4.根据权利要求3所述的多腔室间气氛隔离装置，其特征在于：所述第一隔离腔、第二隔离腔以及进气腔的体积相同。

5.根据权利要求1所述的多腔室间气氛隔离装置，其特征在于：所述进气口设于所述进气腔的底部。

6.根据权利要求1所述的多腔室间气氛隔离装置，其特征在于：所述进气腔内通入的气体为惰性气体。

7.根据权利要求1所述的多腔室间气氛隔离装置，其特征在于：所述多腔室间气氛隔离装置采用铝合金或不锈钢材料制成。

8.一种如权利要求1-7任一项所述的多腔室间气氛隔离装置的气氛隔离方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，由进气腔内通入流量为L1惰性气体，并填充入第一隔离腔及第二隔离腔；

S2，分部通过第一反应腔室和第二反应腔室的工艺气体气路向反应腔室内通入惰性气体，并且由第一出气口处的第一抽气装置及第二出气口处的第二抽气装置进行抽气，将进气口通入的惰性气体、反应腔室的惰性气体及空气抽出；

S3，调节第一抽气装置的抽气流量E1及第二抽气装置抽气流量E2，使第一反应腔室及第二反应腔室达到设定的压强P1，P2；

S4，向第一反应腔室及第二反应腔室通入工艺气体，进行工艺反应，随着工艺的进行产生工艺尾气，第一反应腔室的工艺尾气经由第一进气狭缝与进气腔内通入的惰性气体混合经由第一抽气装置抽出；第二反应腔室的工艺尾气经由第二进气狭缝与进气腔内通入的惰性气体混合经由第二抽气装置抽出。

9.根据权利要求8所述的气氛隔离方法，其特征在于：所述步骤S4中：第一抽气装置的抽气流量为第一反应腔室的工艺尾气流量D1与进气腔内惰性气体流量L1的1/2之和；第二抽气装置的抽气流量为第二反应腔室的工艺尾气流量D2与进气腔内惰性气体流量L1的1/2之和。