[发明专利]非对称阶梯结构及其制造方法

权利要求书

1.一种非对称阶梯结构，其特征在于，包括：

叠层的多层单元层及m个(m≥2)区域，其中

每个区域中有不同部分的单元层其各自有一部分未被上方相邻的单元层覆盖，且该不同部分的单元层其两两间隔为m层单元层，而形成阶差为m层单元层的阶梯，并且

任两区域中的两不同部分的单元层不重复。

2.根据权利要求1所述的非对称阶梯结构，其特征在于，这些单元层的总层数为N(N≥4)，且当这些单元层由下至上编号为第1至第N单元层时，第i(i＝1～m)区域中的该不同部分的单元层的编号为N-(i-1)-0×m、N-(i-1)-1×m...N-(i-1)-k_i×m，其中k_i为不使N-(i-1)-k_i×m小于1的最大整数。

3.根据权利要求1或2所述的非对称阶梯结构，其特征在于，所述m个区域的阶梯排列形成峰状或谷状。

4.根据权利要求1或2所述的非对称阶梯结构，其特征在于，所述m个区域中至少有两个区域的阶梯的由低至高的走向不同或相反。

5.根据权利要求1或2所述的非对称阶梯结构，其特征在于，所述m个区域中至少有两个区域的阶梯的由低至高的走向相同。

6.根据权利要求1或2所述的非对称阶梯结构，其特征在于，每一单元层包括第一材料层及第二材料层，且这些单元层的这些第一材料层及这些第二材料层交替叠层。

7.根据权利要求6所述的非对称阶梯结构，其特征在于，这些单元层叠层在一衬底上，每一单元层中第二材料层位于第一材料层上，且最低的单元层与该衬底之间还有一层第二材料层，其覆盖该衬底或者未覆盖该衬底的一部分，其中该衬底的该部分位于所述m个区域中的至少一个区域中。

8.根据权利要求1或2所述的非对称阶梯结构，其特征在于，这些单元层的总层数或N值为m值的整数倍。

9.一种非对称阶梯结构的制造方法，其特征在于，包括：

在衬底上形成包括多层单元层的叠层结构；

阶形产生程序，包括光刻、掩模削减，以及每次刻蚀m层单元层的多次刻蚀步骤，以在m个(m≥2)区域各自中产生阶差为m层单元层的阶梯形状；以及

m-1次局部刻蚀程序，分别对第2至第m区域进行，其中对第i区域(i＝2～m)进行的局部刻蚀程序除去第i区域中的i-1层单元层，

其中所述阶差产生步骤与m-1次局部刻蚀程序这m个程序的顺序为任意。

10.根据权利要求9所述的非对称阶梯结构的制造方法，其特征在于，在经过局部刻蚀程序的所述第2至第m区域中，至少有一个区域在经过所述阶差产生步骤及对应的局部刻蚀程序之后会有所述衬底的一部分暴露出来。