[发明专利]高灵敏度紧凑M-Z干涉温度传感器及其制作方法有效
申请号: | 201710176913.2 | 申请日: | 2017-03-23 |
公开(公告)号: | CN106959172B | 公开(公告)日: | 2019-09-24 |
发明(设计)人: | 邓明;赵勇 | 申请(专利权)人: | 重庆大学 |
主分类号: | G01K11/32 | 分类号: | G01K11/32 |
代理公司: | 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙) 50221 | 代理人: | 刘佳 |
地址: | 400030 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 灵敏度 紧凑 干涉 温度传感器 及其 制作方法 | ||
【说明书】:
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