[发明专利]堇青石质烧结体、其制法及复合基板

权利要求书

1.一种堇青石质烧结体，其以堇青石为主成分，且主成分以外仅包含氮化硅或碳化硅，其特征在于，

在包含氮化硅的情况下，利用SEM对研磨面实施背散射电子图像观察及组成分析，由图像的对比度的比值求出堇青石相与氮化硅相的面积比率，以该面积比率为烧结体的体积比率时，堇青石相为60～90体积％，氮化硅相为10～40体积％，

在包含碳化硅的情况下，利用SEM对研磨面实施背散射电子图像观察及组成分析，由图像的对比度的比值求出堇青石相与碳化硅相的面积比率，以该面积比率为烧结体的体积比率时，堇青石相为70～90体积％，碳化硅相为10～30体积％

所述堇青石质烧结体：

40～400℃下的热膨胀系数低于2.4ppm/℃，

开口气孔率为0.5％以下，

平均结晶粒径为1μm以下，

杨氏模量为160GPa以上，

4点弯曲强度为220MPa以上，

研磨面的中心平均粗糙度Ra为1.5nm以下。

2.根据权利要求1所述的堇青石质烧结体，其特征在于，所述堇青石质烧结体：

研磨面的每100μm×100μm面积中存在的最大长度1μm以上的气孔的数量为10个以下。

3.一种堇青石质烧结体的制法，其包括以下工序：

(a)将平均粒径0.1～1μm的堇青石粉末60～90体积％和平均粒径0.1～1μm的氮化硅粉末10～40体积％按合计为100体积％进行混合，得到混合原料粉末；或者，将平均粒径0.1～1μm的堇青石粉末70～90体积％和平均粒径0.1～1μm的碳化硅粉末10～30体积％按合计为100体积％进行混合，得到混合原料粉末；

(b)将所述混合原料粉末成型为规定形状的成型体，将所述成型体以压制压力20～300kgf/cm²、烧成温度1350～1450℃进行热压烧成，由此，得到堇青石质烧结体。

4.一种复合基板，其是将功能性基板和支撑基板接合而得到的复合基板，其中，

所述支撑基板为权利要求1或2所述的堇青石质烧结体。