[发明专利]一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备及其控制方法

权利要求书

1.一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备，包括第一蒸镀腔（1）、设置于所述第一蒸镀腔（1）内的第一蒸发源（11）以及基板（12），其特征在于：还包括气压传感器（13）、单片机（14）、驱动电机（15）以及设置在所述基板（12）下方且覆盖所述基板（12）的蒸镀面的管阵，所述管阵由若干导向管（16）组成，所述气压传感器（13）与所述导向管（16）的数量相同，所述导向管（16）包括固定管（161）以及套设在所述固定管（161）内部的活动管（162），所述固定管（161）内设置有用于控制所述活动管（162）沿着所述导向管（16）的轴向水平移动的控制装置（17），所述气压传感器（13）设置在所述固定管（161）的开口处且与所述单片机（14）连接，所述单片机（14）与所述驱动电机（15）连接，所述驱动电机（15）与所述控制装置（17）连接。

2.根据权利要求1所述的一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备，其特征在于：还包括设置在所述第一蒸镀腔（1）上方的第二蒸镀腔（2）以及设置在所述第二蒸镀腔（2）内的第二蒸发源（21）。

3.根据权利要求2所述的一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备，其特征在于：所述第一蒸镀腔（1）内设置有两端分别与所述第一蒸镀腔（1）的腔壁密封贴合的挡板（18），所述挡板（18）将所述第一蒸镀腔（1）分隔成两个子腔；所述挡板（18）上开设有连通所述两个子腔的第一蒸发孔（23），所述第二蒸镀腔（2）底部开设有与所述第一蒸发孔（23）相互对立的第二蒸发孔（24）。

4.根据权利要求3所述的一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备，其特征在于：还包括第一通气管（19）、第二通气管（20）以及容气盒（22），所述第一通气管（19）分别与所述第一蒸发孔（23）以及第二蒸发孔（24）连通，所述第二通气管（20）与所述第一通气管（19）垂直且连通，所述容气盒（22）与所述第二通气管（20）连通；所述管阵伫立在所述容气盒（22）的上方，且所述导向管（16）与所述容气盒（22）的内腔连通。

5.据权利要求4所述的一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备，其特征在于：所述第一通气管（19）在靠近所述第一蒸发孔（23）的一端设置有第一单向阀（191），在靠近所述第二蒸发孔（24）的一端设置有第二单向阀（192），所述第一单向阀（191）的气体流动控制方向与所述第二单向阀（192）的气体流动控制方向为相反方向。

6.据权利要求4所述的一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备，其特征在于：所述第一蒸发源（11）、第二蒸发源(21)、第一蒸发孔（23）、第二蒸发孔（24）、第一通气管（19）以及第二通气管（20）的数量均为两个。

7.根据权利要求1所述的一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备，其特征在于：还包括设置在所述第一蒸镀腔（1）的腔壁上的多个真空抽气孔（111）。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备的控制方法，其特征在于，包括以下工作步骤：

（1）、设置在各导向管（16）内的气压传感器（13）将各自检测出的气压值传输给单片机（14）；

（2）、单片机（14）执行操作：以两个导向管（16）为一组，对每组相邻的导向管（16）内的气压传感器（13）输出的气压值进行计算，具体为，首先将相邻的气压值代入公式L=（P1-P2）·d1进行计算，其中，P1是较大的气压值，P2是较小的气压值，d1是在所述第一蒸镀腔（1）内消耗1Pa的蒸气所需移动的距离，L是待移动距离，具体为较小气压值的气压传感器（13）所处导向管（16）内的活动管（162）需要移动的距离；然后将计算得出的L传输给驱动电机（15），并向驱动电机（15）输出提供较小气压值的气压传感器（13）所处导向管（16）内的控制装置（17）进行驱动所对应的控制信号；

（3）、驱动电机（15）向提供较小气压值的气压传感器（13）所处导向管（16）内的控制装置（17）输出驱动力，以使所述控制装置（17）控制所处导向管（16）内的活动管（162）沿着所述导向管（16）的轴向水平向前移动L的距离。