[发明专利]一种彩膜基板烘烤箱

说明书

本发明提供一种彩膜基板烘烤箱，包括烘烤箱本体，该烘烤箱本体的侧面设有多扇在竖直方向上相互层叠的箱门；该烘烤箱本体内设有加热丝，以对其内的空气进行加热，进而对放置在其中的彩膜基板进行烘烤，每扇所述箱门内部设有加热器，以对所述箱门进行加热，使箱门及其周围的整体温度与烘烤箱本体内的温度保持均一性，以避免彩膜基板被取出箱门时，其上方的烟雾遇上冷空气凝结成水珠滴落在其表面造成污染；其中，烘烤箱本体内设有温度控制机构，该温度控制机构用于控制烘烤箱本体内的温度与箱门及其周围的整体温度保持均一性。本发明加快了烘烤箱内烟雾的排除，减少烟雾凝结对彩膜基板造成的污染，保证了彩膜基板的品质。

【技术领域】

本发明涉及液晶显示领域，特别涉及一种彩膜基板烘烤箱。

【背景技术】

彩膜基板的制作工艺中，玻璃基板经过清洗机的清洗后，涂布机将彩膜光阻涂布至玻璃基板上，并使用干燥系统将大部分溶剂抽除，然后进行预烘烤、曝光、显影及后烘烤。CF OVEN(中文名：彩膜后烘烤机)的工作原理如下：电阻丝将空气加热至230℃，加热后的空气经风机进入烘烤箱室内对显影后的玻璃基板进行烘烤。光阻剂主要由树脂(Resin)、感光剂(Sensitizer)以及溶剂(Solvent)等不同的成分混合而成。烘烤最大的目的就是:将经过显影后的光阻,由热能蒸发的方式,将光阻内残留的溶剂降至最低状态,以达成彩膜成膜之目的。

升华物缺陷是影响彩膜基板品质的主要原因之一，产生的主要原因是烘烤箱箱门开关时，烘烤箱内的热烟雾(热烟雾的温度高达230℃)在箱门处遇室外冷空气(冷空气的温度低至23℃)，会凝结成水滴滴落到玻璃基板表面造成污染。目前烘烤箱业界均是采用热风或者红外线辐射制程的方式。减小烟雾对彩膜基板影响的方式主要有两种，一是提高烘烤箱内的换气率；二是增加整个烘烤箱内的排气。出于节能和设备内温度的稳定性考量，室内的换气率一般介于2～5次/min；增加空间内排气一般是提高厂务排气，这两种方式都能在一定程度上减少烟雾造成的品质异常，但依然还是存在烟雾外泄。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种彩膜基板烘烤箱，以解决现有技术中，当彩膜基板经过烘烤从烘烤箱被取出时，由于遇到冷空气而凝结成水珠滴落在其表面造成污染的问题。

本发明的技术方案如下：

一种彩膜基板烘烤箱，包括烘烤箱本体，所述烘烤箱本体的侧面设有多扇在竖直方向上相互层叠的箱门，所述箱门可沿竖直方向独立地上下运动；

所述烘烤箱本体内设有加热丝，所述加热丝对所述烘烤箱本体内的空气进行加热，以对放置在其中的彩膜基板进行烘烤，每扇所述箱门内部设有加热器，所述加热器对所述箱门进行加热，使所述箱门及其周围的整体温度与所述烘烤箱本体内的温度保持均一性，以避免所述彩膜基板被取出所述箱门时，其上方的烟雾遇上冷空气凝结成水珠滴落在其表面造成污染；

其中，所述烘烤箱本体内设有与所述加热器和所述加热丝连接的温度控制机构，所述温度控制机构用于控制所述烘烤箱本体内的温度与所述箱门及其周围的整体温度保持均一性；每扇所述箱门的外表面均连接有烟雾排导机构，所述烘烤箱本体内的烟雾通过所述烟雾排导机构排出。

优选地，所述烟雾排导机构包括：

若干块烟雾导板，每块所述烟雾导板设于一扇所述箱门的外表面的中部，用于收集从所述烘烤箱本体排出的烟雾；

第一烟雾管，分别设于每块所述烟雾导板的两端，用于将收集在所述烟雾导板上的烟雾排出室外；

空心烟雾柱，设于所述烘烤箱本体的两侧，并与所述第一烟雾管连通，且所述第一烟雾管可相对于所述空心烟雾柱上下运动，用于将经由所述第一烟雾管传输来的烟雾排出室外；

第二烟雾管，其与所述空心烟雾柱连通并通至室外，用于将经由所述空心烟雾柱传输来的烟雾排到室外；