[发明专利]一种超导微波纳米谐振腔有效
| 申请号： | 201710166446.5 | 申请日： | 2017-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN106785293B | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 郭国平;杨鑫鑫;贾志龙;孔伟成;段鹏;薛光明 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01P7/06 | 分类号： | H01P7/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超导 微波 纳米 谐振腔 | ||
1.一种超导微波纳米谐振腔，其特征在于，包括：
介质基片、两个共面波导地平面、共面波导传输线中央导带线和纳米腔；
两个所述共面波导地平面、所述共面波导传输线中央导带线和所述纳米腔位于所述介质基片同一表面；
所述共面波导传输线中央导带线位于两个所述共面波导地平面之间；
所述纳米腔位于所述共面波导地平面区域内，且位于所述介质基片表面上，所述纳米腔朝向所述共面波导传输线中央导带线的边上还包括相互串接的多个超导量子干涉装置，所述超导量子干涉装置由两个超导约瑟夫森结并列成环；
其中，所述纳米腔的线宽为百纳米级别，且所述纳米腔背离所述共面波导传输线中央导带线的边上设置有开口；
所述共面波导地平面、共面波导传输线中央导带线和纳米腔的金属部分的材质为铌材质或氮化铌材质。
2.根据权利要求1所述的超导微波纳米谐振腔，其特征在于，所述纳米腔的线宽小于或等于500纳米。
3.根据权利要求2所述的超导微波纳米谐振腔，其特征在于，所述纳米腔的线宽为100纳米。
4.根据权利要求3所述的超导微波纳米谐振腔，其特征在于，所述开口在沿其所在的所述纳米腔的边长方向上的尺寸大于5微米。
5.根据权利要求4所述的超导微波纳米谐振腔，其特征在于，所述开口在沿其所在的所述纳米腔的边长方向上的尺寸为其所在的所述纳米腔的边长。
6.根据权利要求1所述的超导微波纳米谐振腔，其特征在于，所述纳米腔与所述共面波导传输线中央导带线之间的距离大于或等于6微米。
7.根据权利要求6所述的超导微波纳米谐振腔，其特征在于，所述纳米腔与所述共面波导传输线中央导带线之间的距离为20微米。
8.根据权利要求1所述的超导微波纳米谐振腔，其特征在于，所述介质基片为硅基片或蓝宝石基片。
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