[发明专利]曝光装置、器件制造方法

权利要求书

1.一种曝光装置，透过液体对基板照射曝光用光以使该基板曝光，其特征在于，具备：

投影光学系统，将像透过液体投影；

可动构件，支承该基板并移动；

液体供应机构，从该可动构件的上方透过供应口对该投影光学系统下供应液体；以及

液体回收机构，从该可动构件的上方透过吸引口将该供应的液体与气体一起回收；

该液体回收机构具有收容从该吸引口回收且与气体分离的液体的箱、及检测收容在该箱的液体的量的检测器。

2.如权利要求1所述的曝光装置，其中，在该箱的下部连接有使液体从该箱流动的流路；

在该箱收容有既定量以上的液体时，设在该流路的阀作动使该流路开放。

3.一种曝光装置，透过液体对基板照射曝光用光以使该基板曝光，其特征在于，具备：

投影光学系统，将图案像透过该液体投影至该基板上；

吸引口，连通于吸引系统；

分离器，将从该吸引口吸入的所述液体与气体分离；以及

干燥器，使被该分离器分离后的该气体干燥。

4.如权利要求3所述的曝光装置，其中，使由该干燥器干燥后的该气体流入该吸引系统。

5.如权利要求3所述的曝光装置，其中，该吸引口是为了回收液体而设置。

6.如权利要求3所述的曝光装置，其具备：

液体供应机构，对该投影光学系统与所述基板之间供应液体；以及

液体回收机构，具备吸引口，回收该供应的液体。

7.如权利要求6所述的曝光装置，其中，该液体供应机构，在检测出异常时停止对该投影光学系统下的液体供应。

8.如权利要求7所述的曝光装置，其中，该异常包含该液体回收机构的回收动作的异常。

9.如权利要求6所述的曝光装置，其中，该液体回收机构具有将从该吸引口回收的液体与气体分离的分离器、及将该分离器与该吸引系统加以连接的回收管；

该干燥器设在该回收管。

10.如权利要求6所述的曝光装置，其中，该液体回收机构具有将从该吸引口回收的液体与气体分离的分离器、及测量以该分离器分离的液体的量的流量计。

11.如权利要求3所述的曝光装置，其具备可动构件，该可动构件具备吸引口，该可动构件支承该基板并移动。

12.如权利要求11所述的曝光装置，其中，从该可动构件所支承的该基板与形成在该基板周围的辅助板的间隙流入的液体从该吸引口被回收。

13.一种器件制造方法，包含使用权利要求1至12中任一项所述的曝光装置使基板曝光的动作。