[发明专利]数据信号的标准图案生成方法及装置

说明书

本发明提供一种数据信号的标准图案生成方法及装置，该方法从多个信号集合中生成由信号的长度、中心线、上限和下限构成的数据信号的标准图案。根据所述数据信号的标准图案生成方法的一实施例，可包括以下步骤：在对多个信号集合中的任意两个信号进行排序时，接收第一数据信号和第二数据信号；针对所述第一数据信号和所述第二数据信号，分别确定标准图案长度；按确定的标准图案长度对所述第一数据信号和所述第二数据信号进行采样；对分别采样到的所述第一数据信号和所述第二数据信号进行排序；通过将排序后的所述第一数据信号和所述第二数据信号叠加来生成所述第一数据信号和所述第二数据信号的标准图案。

技术领域

本发明涉及一种数据信号的标准图案生成方法及装置。更详细而言，涉及一种生成从设备的传感器收集到的数据信号的标准图案的方法及执行该方法的标准图案生成装置。

背景技术

在如半导体工艺那样制造工艺由多个步骤构成的制造环境的情况下，为了进行产品的质量管理，需要判断工艺的各步骤是否正常执行。因此，执行工艺的各步骤的制造设备具备用于检测设备是否正常操作的传感器。此时，工艺管理者可通过分析从传感器收集到的感测信号，判断制造设备是否正常操作。

但是，在如半导体工艺那样通过大规模生产线按时间序列进行各工艺的情况下，需要迅速判断执行工艺的各步骤的制造设备是否正常操作。为了这种迅速的判断，可考虑生成收集到的感测信号的标准图案并将该标准图案用作判断基准的方法。这是因为，在存在作为判断基准的标准图案的情况下，制造工艺的管理者可通过对标准图案和判断对象信号进行比较来直观且迅速地判断制造设备是否发生异常。

尽管如此，还未提供有在重复的感测信号之间产生时间延迟的情况下通过感测信号的时间补偿来生成标准图案的方法。特别是，未提供有将感测到的信号的高度值差反映到标准图案的方法。

由此，产生如下问题：当感测到与标准图案具有高度值差的信号时，即使感测到的信号值在容许限度内，也判断为该制造设备发生异常。这会在具备大规模生产线的制造环境下导致频繁的运行中止及再次运行，从而产生生产力变差的问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一种能够生成多个数据信号之间的标准图案的方法及装置。

具体而言，本发明所要解决的技术问题在于提供一种通过对具有时间延迟的重复图案的数据信号进行排序来生成最佳的标准图案的方法及装置。

本发明所要解决的另一技术问题在于提供一种生成反映了作为收集到的数据信号值的容许限度的上限值及下限值的标准图案的方法及装置。

本发明所要解决的又一技术问题在于提供一种通过对生成的标准图案和收集到的数据信号进行比较来判断向管理者发送数据信号的设备是否正常操作的方法及装置。

本发明的技术问题并不限定于以上所提及的技术问题，本领域技术人员能够从下面的记载中明确理解没有提及的其它技术问题。

为了解决上述技术问题，数据信号的标准图案生成方法为从多个信号集合中生成由信号的长度、中心线、上限和下限构成的标准图案的方法，该方法包括以下步骤：在对多个信号集合中的任意两个信号进行排序时，接收第一数据信号和第二数据信号；针对所述第一数据信号和所述第二数据信号，分别确定标准图案长度；按所确定的标准图案长度对所述第一数据信号和所述第二数据信号进行采样；对分别采样到的所述第一数据信号和所述第二数据信号进行排序；以及通过将排序后的第一数据信号和第二数据信号叠加来生成所述第一数据信号和所述第二数据信号的标准图案。此时，生成的所述标准图案可包含反映了利用所述排序后的第一数据信号和第二数据信号的高度值来确定的上限值和下限值的标准图案。