[发明专利]石墨烯电极制备方法及液晶显示面板有效
| 申请号: | 201710155073.1 | 申请日: | 2017-03-14 |
| 公开(公告)号: | CN106842725B | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
| 发明(设计)人: | 王海军 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/1343 | 分类号: | G02F1/1343;C01B32/184 |
| 代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 石墨 电极 制备 方法 液晶显示 面板 | ||
本发明公开了一种石墨烯电极制备方法,在本发明的制备方法中,将作为目标衬底的基板覆盖于所述石墨烯层上后,通过激光照射所述基板制备电极的所需图案区,以通过激光将石墨烯转移至所述基板上,由于仅在所述电极所需图案区才会转移有石墨烯,因此,转移到基板上的石墨烯直接形成了图案化的石墨烯电极。显然,本发明的石墨烯电极制备方法,可简化制备过程,并降低石墨烯电极的图案化的难度,降低加工成本。本发明还公开了一种液晶显示面板,其包括由上述方法制备形成的石墨烯电极。
技术领域
本发明涉及石墨烯电极领域,尤其涉及一种石墨烯电极制备方法及一种液晶显示面板。
背景技术
石墨烯(Graphene)是从石墨材料中剥离出来、并且由碳原子组成的只有一层原子厚度的二维晶体。石墨烯目前是自然界最薄、强度最高的材料,其具有极高导热系数,而优异的导热性能使得石墨烯有望作为未来超大规模纳米集成电路的散热材料。此外,石墨烯的稳定的晶格结构使其具有优秀的导电性。正是由于石墨烯具有优异的性能表现,使其在工业中得到了广泛的应用,例如,应用于显示装置中,作为石墨烯电极使用等。
目前,制备石墨烯电极主要是:利用转移法,具体为:将石墨烯转移到所需基底上,再利用微加工对石墨烯刻蚀,从而形成预设图案;或者,预先制备具有图案化的金属材料,利用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)法在金属图案上形成石墨烯,进而转移到所需基底。虽然以上现有方法可制备出特定图案的石墨烯电极,但其制备过程复杂,石墨烯的质量较低,而且上述方法使得石墨烯电极图案化难度较大,成本较高。因此,需要开发一种新的石墨烯电极制备方法,使其在电子器件等领域的应用更加广泛。
发明内容
本发明实施例提供一种石墨烯电极制备方法,其可简化制备过程,并降低石墨烯电极的图案化的难度,从而进一步降低加工成本。
第一方面,本发明实施例提供了一种石墨烯电极制备方法,包括以下步骤:
提供一支撑板,并在所述支撑板上形成石墨烯层;
提供一基板,并将所述基板覆盖于所述石墨烯层上;
在所述基板上对应石墨烯电极预设图案处进行激光照射,使正对激光照射处的石墨烯吸附于所述基板上;
冷却所述基板,使所述基板被激光照射部分与吸附的所述石墨烯相粘连;及
将所述支撑板与所述基板相互分离,粘连于所述基板上的石墨烯随所述基板一起分离,从而于所述基板上形成图案化的石墨烯电极。
其中,所述基板为PET或者PI材料制备的柔性基板。
其中,所述提供一支撑板,并在所述支撑板上形成石墨烯层的步骤后还包括:将承载有石墨烯层的所述支撑板处于50℃-80℃条件下进行烘烤。
其中,所述激光为二氧化碳激光、半导体激光或者光纤激光。
其中,所述在所述基板上对应石墨烯电极预设图案处进行激光照射的步骤,包括:
在所述基板上,通过一激光束沿所述石墨烯层所需图案区移动;或者
通过一平面状的激光源,配合一图案化的光罩对所述基板进行激光照射,使透过所述光罩的激光照射至所述基板上正对所述石墨烯层所需图案区。
其中,所述在所述基板上对应所述石墨烯层所需图案区进行激光照射,使所述石墨烯层所需图案区吸附于所述基板上的步骤,包括:
所述石墨烯层所需图案区的石墨烯捕捉所述激光的能量而产生热量,所产生的热量将所述激光照射区域内的基板融化,以通过融化的所述基板于融化处吸附相接触的石墨烯。
其中,所述冷却所述基板,使所述基板被激光照射部分与吸附的所述石墨烯相粘连的步骤,包括:
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