[发明专利]检测气路气密性的装置和方法在审
申请号: | 201710153030.X | 申请日: | 2017-03-15 |
公开(公告)号: | CN108627306A | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 张微;朱振营 | 申请(专利权)人: | 深圳市理邦精密仪器股份有限公司 |
主分类号: | G01M3/26 | 分类号: | G01M3/26 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 张润 |
地址: | 518118 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 抽气泵 气路 脱水装置 气密性 进气口 控制系统 气室 压力传感器 反馈检测 顺序设置 运行状态 传感器 检测气 有压力 种检测 路气 密性 检测 | ||
1.一种检测气路气密性的装置,其特征在于,包括顺序设置的脱水装置、气室和抽气泵,所述脱水装置设置有进气口,在所述气室和所述抽气泵之间的气路上安装有压力传感器,还包括控制系统,所述控制系统分别与所述压力传感器和所述抽气泵连接,以在所述进气口关闭时,通过所述抽气泵在多个运行状态下第一气路的多个压力值判断所述第一气路的气密性是否符合要求,所述第一气路为所述脱水装置与所述抽气泵之间的气路。
2.根据权利要求1所述的检测气路气密性的装置,其特征在于,所述控制系统包括:
第一定时器,用于产生第一中断,以控制所述抽气泵的开闭;
第二定时器,用于产生第二中断,以控制所述压力传感器采集第一气路的压力值;
控制单元,用于控制所述第一定时器和所述第二定时器,还用于根据多个在所述抽气泵的运行状态下的第一气路的压力值判断所述第一气路的气密性是否符合所述要求。
3.根据权利要求1所述的检测气路气密性的装置,其特征在于,所述脱水装置具有两个出气通道,所述两个出气通道通过一个连接装置与所述气室连通,所述两个出气通道的气阻值不同。
4.根据权利要求1所述的检测气路气密性的装置,其特征在于,所述抽气泵为隔膜泵。
5.根据权利要求1所述的检测气路气密性的装置,其特征在于,还包括反馈装置,所述反馈装置用于在所述第一气路的气密性正常时进行第一反馈,且在所述第一气路的气密性异常时进行第二反馈。
6.一种检测气路气密性的方法,其特征在于,包括权利要求1-5中任一项所述的一种检测气路气密性的装置,该方法包括以下步骤:
S1;在所述抽气口关闭且所述抽气泵关闭时,采集所述第一气路的第一气压;
S2:控制所述抽气泵以预设功率对所述第一气路进行抽气,抽气到压力小于等于第二预设压力值时停止抽气认定降压成功,或者抽气超过第一预设时间后压力大于所述第二预设压力值时停止抽气认定降压失败;
S3:当降压成功时计算所述第一气路的第一漏气率;
S4:如果所述第一漏气率小于所述预设漏气率阈值,则判断所述第一气路的气密性正常。
7.根据权利要求6所述的检测气路气密性的方法,其特征在于,所述第一漏气率的计算步骤包括:
S301:当降压成功时,开始每隔第三预设时间采集一次所述第一气路的压力值,共采集N次所述第一气路的压力值,其中,N为自然数且N>1;
S302:根据采集的N次所述第一气路的压力值计算所述第一气路的第一漏气率。
8.根据权利要求7所述的检测气路气密性的方法,其特征在于,还包括:
如果所述第一漏气率大于等于所述预设漏气率阈值,则重复执行步骤S301-S302得到多个所述第一气路的第一漏气率,如果多个所述第一气路的第一漏气率中存在某个所述第一气路的第一漏气率小于所述预设漏气率阈值,则判断所述第一气路的气密性正常。
9.根据权利要求8所述的检测气路气密性的方法,其特征在于,还包括:
如果多个所述第一气路的第一漏气率均大于所述预设漏气率阈值,且超过预设最长检测时间,则判断所述第一气路的气密性异常。
10.根据权利要求6-9中任一项所述的检测气路气密性的方法,其特征在于,还包括:
根据所述第一气路的气密性判断结果进行反馈。
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